[实用新型]一种供液装置

说明书

本实用新型涉及一种供液装置，包括原液钢瓶和液位传感器，液位传感器安装在原液钢瓶内，还包括供液钢瓶，供液钢瓶内装有液位传感器；液钢瓶和原液钢瓶均安装在箱体内，箱体上设有可开关的箱门；进出管路单元安装在箱体上，且与箱门相对设置，用于控制进气和供液；供气管路单元安装在箱体的一侧，分别与进出管路单元、原液钢瓶和供液钢瓶连接；供液管路单元安装在箱体的另一侧，分别与进出管路单元、原液钢瓶和供液钢瓶连接，用于将原液钢瓶内的液体输送到供液钢瓶内，以及将供液钢瓶内的液体送出。该供液装置通过供液钢瓶持续供液，通过原液钢瓶周转，保证了生产的连续性，结构紧凑、体积小、三个管路单元将管路分开设置，方便装配和维护。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体生产的供液设备，尤其是一种供液装置。

背景技术

现有的供液装置采用氦气进行供液，也就是通过高压的氦气提供压力，将供液钢瓶中的液体送出。

现有的供液装置采用单个钢瓶供液，单个钢瓶供液时，当钢瓶内的液体解决用完时，需要更换钢瓶，更换钢瓶时不能供液，需要停车。目前主要采用两台装置并联的方式来解决更换导致停产的问题，但是两台设备并联导致结构复杂，管路的控制复杂，并且体积较大。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种既能保证连续生产，同时体积小、管路简单的一种供液装置，具体技术方案为：

一种供液装置，包括原液钢瓶和液位传感器，所述液位传感器安装在所述原液钢瓶内，还包括：供液钢瓶，所述供液钢瓶内装有液位传感器；箱体，所述供液钢瓶和所述原液钢瓶均安装在所述箱体内，所述箱体上设有可开关的箱门；进出管路单元，所述进出管路单元安装在所述箱体上，且与所述箱门相对设置，用于控制进气和供液；供气管路单元，所述供气管路单元安装在所述箱体的一侧，分别与所述进出管路单元、所述原液钢瓶和所述供液钢瓶连接；供液管路单元，所述供液管路单元安装在所述箱体的另一侧，分别与所述进出管路单元、原液钢瓶和供液钢瓶连接，用于将所述原液钢瓶内的液体输送到所述供液钢瓶内，以及将所述供液钢瓶内的液体送出。

优选的，还包括抽拉装置，所述抽拉装置安装在所述箱体上，且位于所述箱门的一侧，所述原液钢瓶安装在所述抽拉装置上。

优选的，所述抽拉装置包括：抽拉底座，所述原液钢瓶安装在所述抽拉底座上；及三节导轨，所述三节导轨安装在所述抽拉底座的两侧，且与所述箱体的两侧连接。

优选的，还包括称重装置，所述称重装置包括：称重底板，所述称重底板安装在所述箱体内；称重传感器，所述称重传感器安装在所述称重底板上，且不少于三个；及称重板，所述称重板安装在所述称重传感器上，所述供液钢瓶和所述原液钢瓶安装在所述称重板上。

优选的，还包括橡胶垫，所述橡胶垫安装在箱体上，所述供液钢瓶和所述原液钢瓶分别安装在所述橡胶垫上。

优选的，还包括排气阀，所述排气阀安装在所述箱体的顶部。

优选的，还包括漏液传感器，所述漏液传感器安装在所述箱体的底部。

优选的，还包括气液分离器，所述气液分离器安装在所述供液管路单元上。

与现有技术相比本实用新型具有以下有益效果：