[实用新型]一种供液装置有效
| 申请号: | 202222970850.7 | 申请日: | 2022-11-07 |
| 公开(公告)号: | CN219180474U | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
| 发明(设计)人: | 罗保兴;钟贵平;金凡奎;王富斌;杨利斌 | 申请(专利权)人: | 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙) 44611 | 代理人: | 王嘉佩 |
| 地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 装置 | ||
1.一种供液装置,包括原液钢瓶(3)和液位传感器,所述液位传感器安装在所述原液钢瓶(3)内;其特征在于,还包括:
供液钢瓶(2),所述供液钢瓶(2)内装有液位传感器;
箱体(11),所述供液钢瓶(2)和所述原液钢瓶(3)均安装在所述箱体(11)内,所述箱体(11)上设有可开关的箱门(12);
进出管路单元(4),所述进出管路单元(4)安装在所述箱体(11)上,且与所述箱门(12)相对设置,用于控制进气和供液;
供气管路单元(5),所述供气管路单元(5)安装在所述箱体(11)的一侧,分别与所述进出管路单元(4)、所述原液钢瓶(3)和所述供液钢瓶(2)连接;
供液管路单元(6),所述供液管路单元(6)安装在所述箱体(11)的另一侧,分别与所述进出管路单元(4)、原液钢瓶(3)和供液钢瓶(2)连接,用于将所述原液钢瓶(3)内的液体输送到所述供液钢瓶(2)内,以及将所述供液钢瓶(2)内的液体送出。
2.根据权利要求1所述的一种供液装置,其特征在于,还包括抽拉装置,所述抽拉装置安装在所述箱体(11)上,且位于所述箱门(12)的一侧,所述原液钢瓶(3)安装在所述抽拉装置上。
3.根据权利要求2所述的一种供液装置,其特征在于,所述抽拉装置包括:
抽拉底座(32),所述原液钢瓶(3)安装在所述抽拉底座(32)上;及
三节导轨(31),所述三节导轨(31)安装在所述抽拉底座(32)的两侧,且与所述箱体(11)的两侧连接。
4.根据权利要求1或2所述的一种供液装置,其特征在于,还包括称重装置,所述称重装置包括:
称重底板(33),所述称重底板(33)安装在所述箱体(11)内;
称重传感器(34),所述称重传感器(34)安装在所述称重底板(33)上,且不少于三个;及
称重板(35),所述称重板(35)安装在所述称重传感器(34)上,所述供液钢瓶(2)和所述原液钢瓶(3)安装在所述称重板(35)上。
5.根据权利要求1或2所述的一种供液装置,其特征在于,还包括橡胶垫(22),所述橡胶垫(22)安装在箱体(11)上,所述供液钢瓶(2)和所述原液钢瓶(3)分别安装在所述橡胶垫(22)上。
6.根据权利要求1所述的一种供液装置,其特征在于,还包括排气阀(7),所述排气阀(7)安装在所述箱体(11)的顶部。
7.根据权利要求1所述的一种供液装置,其特征在于,还包括漏液传感器(16),所述漏液传感器(16)安装在所述箱体(11)的底部。
8.根据权利要求1所述的一种供液装置,其特征在于,还包括气液分离器(66),所述气液分离器(66)安装在所述供液管路单元(6)上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





