[实用新型]石英管以及石英容器有效
申请号: | 202222834600.0 | 申请日: | 2022-10-26 |
公开(公告)号: | CN218903530U | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 黄杰杰;高瑜锋;吴广杰 | 申请(专利权)人: | 广东先导微电子科技有限公司 |
主分类号: | B22C9/02 | 分类号: | B22C9/02;B22C9/22 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 张向琨 |
地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英管 以及 石英 容器 | ||
提供一种石英管以及石英容器,石英管至少适于锑棒的制备;石英管为一体单件,石英管包括沿上下方向连接的装料段和熔铸段;装料段的上端敞开,装料段的下端设有沿上下方向贯通的通孔,装料段用于装入固态物料且收容固态物料被熔化时形成的熔融的物料;熔铸段在装料段的通孔处从装料段的外表面向下延伸,熔铸段的上端开口并连通于装料段的通孔,熔铸段的下端封闭,熔铸段用于供经由通孔进入的熔融的物料填充以形成棒状材料;石英管的内外表面镀覆有碳膜,石英管的内外表面镀覆的碳膜的厚度在500~1000nm之间。石英容器包括石英封泡,石英容器至少适于锑棒的制备,石英容器还包括前述的石英管,石英封泡用于将石英管的顶端密封。
技术领域
本公开涉及高纯金属材料制备器具领域,更具体地涉及一种石英管及石英容器。
背景技术
锑是一种银白色有光泽硬而脆的金属,纯度≥7N5的锑作为高质量分子束外延技术(MBE)用源材料。作为MBE源用材料,需要锑的形状为棒状,且表面平整无缩孔。
现有锑棒的制备方法一般是向石墨模具或石英模具中投入锑块,在真空环境下熔化锑块成型。
目前锑棒的制备难点主要是如何避免锑块制备过程中受到石墨模具或石英模具中杂质的污染,以及凝固速度快导致锑棒表面产生的缩孔。
因此有必要在制备锑棒的模具/器具上进一步改进。
实用新型内容
鉴于背景技术中存在的问题,本公开的目的在于提供一种石英管及石英容器,其在应用于锑棒的制备时至少避免来自石英管及石英容器的污染。
由此,提供一种石英管,石英管至少适于锑棒的制备;石英管为一体单件,石英管包括沿上下方向D连接的装料段和熔铸段;装料段的上端敞开,装料段的下端设有沿上下方向D贯通的通孔,装料段用于装入固态物料且收容固态物料被熔化时形成的熔融的物料;熔铸段在装料段的通孔处从装料段的外表面向下延伸,熔铸段的上端开口并连通于装料段的通孔,熔铸段的下端封闭,熔铸段用于使供经由通孔进入的熔融的物料填充以形成棒状材料;石英管的内外表面镀覆有碳膜,石英管的内外表面镀覆的碳膜的厚度在500~1000nm之间。
此外,提供一种石英容器,其包括石英封泡,石英容器至少适于锑棒的制备,石英容器还包括前述的石英管,石英封泡用于将石英管的顶端密封。
本公开的有益效果如下:在本公开的石英管和石英容器中,石英管的内表面的碳膜便于最终冷却制成的棒状材料脱膜。此外,石英管的内表面碳膜的厚度小于500nm,有可能带入硅杂质;内表面碳膜的厚度大于1000nm,碳膜容易脱碳。由此避免来自石英管的污染。
附图说明
图1是根据本公开的石英管的示意图。
图2是根据测试的实施例制备的10根锑棒的产品图片。
其中,附图标记说明如下:
1000石英容器 2熔铸段
D上下方向 21第二直筒部
100石英管 D1内径
1装料段 22第二弧形部
L1长度 L2长度
11通孔 T1厚度
12第一直筒部 200石英封泡
D2内径 D3外径
13第一弧形部 T2厚度
具体实施方式
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