[实用新型]石英管以及石英容器有效
申请号: | 202222834600.0 | 申请日: | 2022-10-26 |
公开(公告)号: | CN218903530U | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 黄杰杰;高瑜锋;吴广杰 | 申请(专利权)人: | 广东先导微电子科技有限公司 |
主分类号: | B22C9/02 | 分类号: | B22C9/02;B22C9/22 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 张向琨 |
地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英管 以及 石英 容器 | ||
1.一种石英管(100),其特征在于,石英管(100)至少适于锑棒的制备;
石英管(100)为一体单件,石英管(100)包括沿上下方向(D)连接的装料段(1)和熔铸段(2);
装料段(1)的上端敞开,装料段(1)的下端设有沿上下方向(D)贯通的通孔(11),装料段(1)用于装入固态物料且收容固态物料被熔化时形成的熔融的物料;
熔铸段(2)在装料段(1)的通孔(11)处从装料段(1)的外表面向下延伸,熔铸段(2)的上端开口并连通于装料段(1)的通孔(11),熔铸段(2)的下端封闭,熔铸段(2)用于供经由通孔(11)进入的熔融的物料填充以形成棒状材料;
石英管(100)的内外表面镀覆有碳膜,石英管(100)的内外表面镀覆的碳膜的厚度在500~1000nm之间。
2.根据权利要求1所述的石英管(100),其特征在于,
装料段(1)沿上下方向(D)从顶端到底部的外表面的长度(L1)为200-350mm。
3.根据权利要求1所述的石英管(100),其特征在于,
装料段(1)包括第一直筒部(12)和第一弧形部(13);
第一直筒部(12)具有恒定的内径,第一弧形部(13)连接在第一直筒部(12)的下方,通孔(11)位于第一弧形部(13)的底部并连通第一直筒部(12)的内部;
第一弧形部(13)为半球型。
4.根据权利要求3所述的石英管(100),其特征在于,
第一直筒部(12)的内径为58-60mm。
5.根据权利要求1所述的石英管(100),其特征在于,
通孔(11)具有恒定的内径,
熔铸段(2)包括第二直筒部(21)和第二弧形部(22),第二直筒部(21)具有恒定的内径,第二直筒部(21)的内径等于通孔(11)的内径,第二弧形部(22)连接在第二直筒部(21)的下方。
6.根据权利要求5所述的石英管(100),其特征在于,第二弧形部(22)为半球型。
7.根据权利要求5所述的石英管(100),其特征在于,
熔铸段(2)沿上下方向(D)从顶端到底部的外表面的最低端的长度(L2)为100-200mm,
熔铸段(2)的第二直筒部(21)的内径(D1)为10-15mm。
8.根据权利要求1所述的石英管(100),其特征在于,石英管(100)具有恒定的厚度。
9.根据权利要求8所述的石英管(100),其特征在于,石英管(100)的厚度(T1)为2-5mm。
10.一种石英容器(1000),包括石英封泡(200),其特征在于,石英容器(1000)至少适于锑棒的制备,石英容器(1000)还包括权利要求1-9中任一项所述的石英管(100),石英封泡(200)用于将石英管(100)的顶端密封。
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