[实用新型]腔体管路结构

说明书

本申请提供一种腔体管路结构，涉及管路结构的技术领域，其包括腔体、前级管路以及压力表；前级管路与腔体连接，前级管路上设置有螺旋管路，前级管路和螺旋管路配合以输送腔体导出的工艺气体；压力表与前级管路连接，以检测前级管路内的气压。通过在前级管路上设置螺旋管路，由于螺旋管路呈螺旋形，延长了供气体流动的通道长度，气体在螺旋管路内盘旋过程中，气体中的一部分颗粒物会于螺旋管路内沉积，进而可以减少压力表检测气压时受到来自颗粒物的影响，进而能够提高压力表的使用寿命，减少MOCVD机台的停机时长，进而提高生产效率。

技术领域

本申请涉及管路结构的技术领域，具体涉及一种腔体管路结构。

背景技术

MOCVD机台是一种能够生产化合物半导体的设备，MOCVD的全称为金属有机化合物气相沉积。与MOCVD机台的腔体管道相连接的压力表，能够对腔体管道的气压进行检测，随着MOCVD机台的不断运行，压力表的压力读值会随着颗粒物的沉积以及气体的冲击，误差逐渐的加大，到最后无法准确反应腔体管道内气压，需要定期停机对压力表进行更换作业，但这会导致整个MOCVD机台的停机时长延长，降低生产效率。

因此，需要一种新的腔体管道结构，能够延长与腔体管道相连接的压力表的使用寿命，以减少MOCVD机台的停机时长，提高生产效率。

发明内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种腔体管路结构，能够延长压力表的使用寿命，减少MOCVD机台的停机时长，进而提高生产效率。

本说明书实施例提供以下技术方案：

本说明书实施例提供一种腔体管路结构，包括腔体、前级管路以及压力表；

所述前级管路与腔体连接，所述前级管路上设置有螺旋管路，所述前级管路和螺旋管路配合以输送腔体导出的工艺气体；

所述压力表与前级管路连接，以检测前级管路内的气压。

通过上述技术方案，在前级管路上设置螺旋管路，由于螺旋管路呈螺旋形，延长了供气体流动的通道长度，气体在螺旋管路内盘旋过程中，气体中的一部分颗粒物会于螺旋管路内沉积，进而可以减少压力表检测气压时受到来自颗粒物的影响，进而能够提高压力表的使用寿命，减少MOCVD机台的停机时长，进而提高生产效率。

优选的，所述前级管路和压力表之间设置有阀门，所述阀门用于控制前级管路和压力表之间的通断。

通过设置阀门，在执行整个设备维护与保养中的充气及抽气动作时，通过阀门，断开前级管路和压力表之间的连接，减少气体及颗粒物对压力表的冲击，进一步提高压力表的使用寿命。

优选的，所述阀门和压力表之间设置有过滤垫片。

通过设置过滤垫片，对前往压力表的气体中的颗粒物进行过滤，减少颗粒物对压力表的冲击，提高压力表的使用寿命。

优选的，所述前级管路包括第一管路和第二管路，所述第一管路与腔体连接，所述第二管路远离腔体设置，所述螺旋管路的两端分别与第一管路及第二管路可拆卸连接。

由于螺旋管路和第一管路以及第二管路之间为可拆卸连接，因此可以定期将螺旋管路拆卸进行清洗，以去除沉积的颗粒物，进而减少螺旋管路堵塞的可能。

优选的，所述螺旋管路与第一管路以及第二管路的连接处均分别通过卡压式连接。

优选的，所述阀门为气动阀门。

优选的，所述阀门为手动阀门。

优选的，所述阀门与前级管路以及压力表之间的连接处均分别通过密封件密封。

优选的，所述过滤垫片设置于阀门和压力表之间相连的管道内，且所述过滤垫片的外周与所述管道内壁之间密封并固定。