[实用新型]腔体管路结构有效
| 申请号： | 202222746199.5 | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN218720649U | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 厉清;胡博涛 | 申请（专利权）人： | 上海积塔半导体有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;F16L55/00;B01D45/02;B01D45/16 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 黄贞君;黎飞鸿 |
| 地址： | 201208 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 管路 结构 | ||
1.一种腔体管路结构，其特征在于，包括腔体(1)、前级管路(2)以及压力表(3)；
所述前级管路(2)与腔体(1)连接，所述前级管路(2)上设置有螺旋管路(5)，所述前级管路(2)和螺旋管路(5)配合以输送腔体(1)导出的工艺气体；
所述压力表(3)与前级管路(2)连接，以检测前级管路(2)内的气压。
2.根据权利要求1所述的腔体管路结构，其特征在于，所述前级管路(2)和压力表(3)之间设置有阀门(4)，所述阀门(4)用于控制前级管路(2)和压力表(3)之间的通断。
3.根据权利要求2所述的腔体管路结构，其特征在于，所述阀门(4)和压力表(3)之间设置有过滤垫片(6)。
4.根据权利要求1所述的腔体管路结构，其特征在于，所述前级管路(2)包括第一管路(201)和第二管路(202)，所述第一管路(201)与腔体(1)连接，所述第二管路(202)远离腔体(1)设置，所述螺旋管路(5)的两端分别与第一管路(201)及第二管路(202)可拆卸连接。
5.根据权利要求4所述的腔体管路结构，其特征在于，所述螺旋管路(5)与第一管路(201)以及第二管路(202)的连接处均分别通过卡压式连接。
6.根据权利要求2所述的腔体管路结构，其特征在于，所述阀门(4)为气动阀门。
7.根据权利要求2所述的腔体管路结构，其特征在于，所述阀门(4)为手动阀门。
8.根据权利要求2所述的腔体管路结构，其特征在于，所述阀门(4)与前级管路(2)以及压力表(3)之间的连接处均分别通过密封件密封。
9.根据权利要求3所述的腔体管路结构，其特征在于，所述过滤垫片(6)设置于阀门(4)和压力表(3)之间相连的管道(7)内，且所述过滤垫片(6)的外周与所述管道(7)内壁之间密封并固定。
10.根据权利要求3所述的腔体管路结构，其特征在于，所述过滤垫片(6)的目数为200目、400目或者800目。
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