[实用新型]扫描电镜样品台

说明书

本申请公开了一种扫描电镜样品台，包括基座，基座上沿一方向滑动设置有第一样品载台和第二样品载台，第一样品载台与所述第二样品载台相向的侧面之间形成有样品夹持空间；紧固单元，分别与第一样品载台和第二样品载台连接。上述方案，由于在第一样品载台与第二样品载台相向的侧面之间形成有样品夹持空间，可以将不同形状、不同大小的样品夹在该样品夹持空间，以将样品固定在该扫描电镜样品台上，而无需采用导电胶对样品进行粘接固定，因此，克服了因采用导电胶粘接固定样品，而导致的不利于对样品进行高精度、高倍率拍摄的问题发生。

技术领域

本实用新型一般涉及电子显微镜技术领域，具体涉及一种扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜是利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过高能电子束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，并对这些物理信息进行收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

一般地，扫描电镜出厂时原装的样品台为圆柱形样品台，在对样品进行扫描电镜分析时，将样品放置在圆柱形样品台的顶面或通过导电胶将样品粘贴在圆柱形样品台的侧面，然而，由于导电胶的导电能力有限，导致样品与样品台之间接触电阻较大，对扫描电镜发出的高能电子束能量衰减较大，而扫描电镜的拍摄精度与倍率与采集到的高能电子束能量正相关，因此，采用导电胶来对样品进行粘贴固定，不利于对样品进行高精度、高倍率的拍摄。此外，由于导电胶具有一定的厚度，且存在不平的情况，在导电胶不平时，会造成样品粘接后平整度较差，导致样品的形态精度降低，相应地，获得的样品的图像精度亦会降低。

实用新型内容

本申请提供一种扫描电镜样品台，至少用于样品高精度、高倍率的拍摄。

本实用新型提供一种扫描电镜样品台，包括：基座，所述基座上沿一方向滑动设置有第一样品载台和第二样品载台，所述第一样品载台与所述第二样品载台相向的侧面之间形成有样品夹持空间；紧固单元，分别与所述第一样品载台和所述第二样品载台连接，用于至少将所述第一样品载台和所述第二样品载台固定连接在一起。

作为可实现方式，所述第一样品载台和所述第二样品载台均具有多个样品承载面，且所述第一样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角，与所述第二样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角不同。

作为可实现方式，所述第一样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角不同；和/或，所述第二样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角不同。

作为可实现方式，所述第一样品载台和所述第二样品载台至少任一与所述基座可拆卸连接。

作为可实现方式，所述紧固单元包括螺栓、止旋垫片以及止旋插接件；所述第一样品载台设置有螺纹孔，所述第二样品载台设置有第一通孔，所述止旋垫片设置有第二通孔，所述螺栓顺次穿过所述第二通孔和所述第一通孔，并与所述螺纹孔螺接；所述止旋插接件分别与所述第一样品载台和所述第二样品载台止旋插接配合；所述止旋垫片与所述止旋插接件止旋配合。

作为可实现方式，所述基座上设置有第一滑动引导部，所述第一样品载台和所述第二样品载台上均设置有第二滑动引导部，所述第一滑动引导部与所述第二滑动引导部滑动配合。

作为可实现方式，所述第一滑动引导部和所述第二滑动引导部二者中，其一为第一凹槽，另一为第一导轨。

作为可实现方式，所述第一凹槽为燕尾槽、梯形槽、T形槽和L形槽中的任一种；所述第一导轨为与所述第一凹槽对应的燕尾导轨、梯形导轨、T形导轨或L形导轨。

作为可实现方式，所述止旋插接件上设置有第一插配合引导部，所述第一样品载台和所述第二样品载台上均设置有第二插配合引导部，所述第一插配合引导部与所述第二插配合引导部止旋插接配合。

作为可实现方式，所述第一插配合引导部和所述第二插配合引导部二者中，其一为第二凹槽，另一为第二导轨。