[实用新型]扫描电镜样品台有效

专利信息
申请号: 202222743817.0 申请日: 2022-10-18
公开(公告)号: CN218726804U 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 杨炎;康冀恺;黄诚;蒋仙;李华 申请(专利权)人: 泰州隆基乐叶光伏科技有限公司
主分类号: G01N23/2251 分类号: G01N23/2251;G01N23/2204
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 代理人: 郭栋梁
地址: 225300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 扫描电镜 样品
【权利要求书】:

1.一种扫描电镜样品台,其特征在于,包括:

基座,所述基座上沿一方向滑动设置有第一样品载台和第二样品载台,所述第一样品载台与所述第二样品载台相向的侧面之间形成有样品夹持空间;

紧固单元,分别与所述第一样品载台和所述第二样品载台连接,用于至少将所述第一样品载台和所述第二样品载台固定连接在一起。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台,其特征在于,所述第一样品载台和所述第二样品载台均具有多个样品承载面,且所述第一样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角,与所述第二样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角不同。

3.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台,其特征在于,所述第一样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角不同;和/或,

所述第二样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角不同。

4.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台,其特征在于,所述第一样品载台和所述第二样品载台至少任一与所述基座可拆卸连接。

5.根据权利要求1-4任一项所述的扫描电镜样品台,其特征在于,所述紧固单元包括螺栓、止旋垫片以及止旋插接件;

所述第一样品载台设置有螺纹孔,所述第二样品载台设置有第一通孔,所述止旋垫片设置有第二通孔,所述螺栓顺次穿过所述第二通孔和所述第一通孔,并与所述螺纹孔螺接;

所述止旋插接件分别与所述第一样品载台和所述第二样品载台止旋插接配合;

所述止旋垫片与所述止旋插接件止旋配合。

6.根据权利要求1-4任一项所述的扫描电镜样品台,其特征在于,所述基座上设置有第一滑动引导部,所述第一样品载台和所述第二样品载台上均设置有第二滑动引导部,所述第一滑动引导部与所述第二滑动引导部滑动配合。

7.根据权利要求6所述的扫描电镜样品台,其特征在于,所述第一滑动引导部和所述第二滑动引导部二者中,其一为第一凹槽,另一为第一导轨。

8.根据权利要求4所述的扫描电镜样品台,其特征在于,所述止旋插接件上设置有第一插配合引导部,所述第一样品载台和所述第二样品载台上均设置有第二插配合引导部,所述第一插配合引导部与所述第二插配合引导部止旋插接配合。

9.根据权利要求8所述的扫描电镜样品台,其特征在于,所述第一插配合引导部和所述第二插配合引导部二者中,其一为第二凹槽,另一为第二导轨。

10.根据权利要求9所述的扫描电镜样品台,其特征在于,所述第一样品载台和所述第二样品载台的顶部设置所述第二凹槽,所述止旋插接件包括所述第二导轨,所述第二导轨的一端设置有定位部,所述定位部与所述紧固单元的止旋垫片止旋配合,且所述定位部与所述第二样品载台背离所述第一样品载台的侧面止推配合。

11.根据权利要求10所述的扫描电镜样品台,其特征在于,所述定位部包括平行设置的顶面和底面,所述顶面和所述底面均为第一平面;

所述止旋垫片的侧面包括第二平面,所述第二平面与作为所述底面的所述第一平面贴合,以将所述定位部与所述止旋垫片止旋配合。

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