[实用新型]压电陶瓷夹持工装、极化装置及漏电流检测装置有效

专利信息
申请号: 202222741304.6 申请日: 2022-10-18
公开(公告)号: CN218182189U 公开(公告)日: 2022-12-30
发明(设计)人: 连子龙;许良;胡志诚;朱国旗 申请(专利权)人: 苏州隐冠半导体技术有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/66
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 余明伟
地址: 215211 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 压电 陶瓷 夹持 工装 极化 装置 漏电 检测
【权利要求书】:

1.一种压电陶瓷夹持工装,其特征在于,所述压电陶瓷夹持工装包括自下而上依次设置的第一载板(10)、第一连接层(20)、样品定位层(30)、弹簧顶针(40)及第二载板(50),其中所述第一载板(10)、所述样品定位层(30)及所述第二载板(50)为绝缘设置,所述第一连接层(20)及所述弹簧顶针(40)为导电设置;

所述第一载板(10)及所述第二载板(50)通过绝缘螺栓(70)固定连接,且所述第一载板(10)及所述第二载板(50)之间设置有预设距离,用于为压电陶瓷样品(80)的放取提供操作空间;

所述样品定位层(30)上设置有若干个贯穿槽(31),所述贯穿槽(31)的尺寸与所述压电陶瓷样品(80)的尺寸相匹配,用于批量放置所述压电陶瓷样品(80),所述压电陶瓷样品(80)通过所述贯穿槽(31)与所述第一连接层(20)直接接触;

所述第二载板(50)上设置有与所述贯穿槽(31)数量相同的贯穿孔,且所述贯穿孔的中心位置与所述贯穿槽(31)的中心位置一一对应;

所述弹簧顶针(40)通过所述贯穿孔固定于所述第二载板(50),所述弹簧顶针(40)可活动收缩的一端与所述压电陶瓷样品(80)接触,所述弹簧顶针(40)远离所述压电陶瓷样品(80)的另一端及所述第一连接层(20)分别电连接至外部设置的电源装置的正负极。

2.根据权利要求1所述的压电陶瓷夹持工装,其特征在于:所述样品定位层(30)上的所述贯穿槽(31)呈规则矩阵排列。

3.根据权利要求1所述的压电陶瓷夹持工装,其特征在于:所述绝缘螺栓(70)的数量为4,分别位于所述第一载板(10)及所述第二载板(50)对应的四周。

4.根据权利要求1所述的压电陶瓷夹持工装,其特征在于:所述第一载板(10)上设置有凹槽,所述第一连接层(20)固定于所述凹槽内。

5.根据权利要求1所述的压电陶瓷夹持工装,其特征在于:所述压电陶瓷夹持工装还包括支撑脚(90),固定连接于所述第一载板(10)下方,用于支撑整个所述压电陶瓷夹持工装的重量。

6.一种压电陶瓷极化装置,其特征在于,所述压电压电陶瓷极化装置包括加热装置、供压装置及

如权利要求1~5中任意一项所述的压电陶瓷夹持工装,其中,所述弹簧顶针(40)的上方还设置有板状的金属连接层(61),所述金属连接层(61)及所述第一连接层(20)分别电连接至所述供压装置的正负极;

所述压电陶瓷夹持工装设置于所述加热装置内,所述加热装置用于为所述压电陶瓷样品(80)的极化提供所需的温度;

所述供压装置用于为所述压电陶瓷样品(80)的极化提供所需的直流电压。

7.根据权利要求6所述的压电陶瓷极化装置,其特征在于:所述第一连接层(20)与所述金属连接层(61)均为铜层。

8.根据权利要求6所述的压电陶瓷极化装置,其特征在于:所述第一连接层(20)与所述金属连接层(61)分别通过导线与所述供压装置的正负极相连接。

9.一种压电陶瓷漏电流检测装置,其特征在于,所述压电陶瓷漏电流检测装置包括数据采集装置、电阻、电源装置及

如权利要求1~5中任意一项所述的压电陶瓷夹持工装;

每一个所述弹簧顶针(40)远离所述压电陶瓷样品(80)的一端分别通过一根连接线(62)连接至所述数据采集装置以形成一个检测回路,且每个所述检测回路串联一个所述电阻;

所述电源装置用于为所述压电陶瓷样品(80)的漏电流检测提供所需的直流电压。

10.根据权利要求9所述的压电陶瓷漏电流检测装置,其特征在于:所述第一连接层(20)及所述数据采集装置通过导线分别与所述电源装置的正负极相连接。

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