[实用新型]分割型靶材背板加工修正机

说明书

本实用新型公开了一种分割型靶材背板加工修正机，包括修正机台，修正机台上分别设有抬高机构、下压机构，抬高机构用以自靶材背板的中部抬高靶材背板，下压机构用以对靶材背板的两端进行下压修正；其中，抬高机构包括配合使用的升降组件、垫高组件，升降组件包括沿修正机台长度方向均布的多个能上下移动的升降板，多个升降板的上端能共同承托住靶材背板；垫高组件包括能沿修整机台宽度方向移动的垫高板，垫高板用以抵接在靶材背板下端的中部；当升降板处于最高位时，升降板的上端高于垫高板的上端。本实用新型的修正机实现了对靶材背板的翘曲度修正，提高了修正效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种分割型靶材背板加工修正机。

背景技术

在半导体行业中，靶材组件是由复合溅射性能的靶材与能与靶材结合并具有一定强度的靶材背板构成的，靶材背板可以在靶材组件装配到溅射基台上时起到支撑作用，并具有传导热量的功效。在真空溅射时，背板在靶材设置的方向上会承受强力，有时会使背板产生翘曲，而背板的翘曲会导致靶材上可能产生裂纹，因此，一般会采用修正机构对靶材背板的翘曲度进行修正。但现有的修正机构通常采用C型夹和修正台的方式来对靶材背板进行下压修正，该方式需要人工抬高靶材背板，劳动强度较大，效率较低。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种分割型靶材背板加工修正机，实现了对靶材背板的翘曲度修正，提高了修正效率。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种分割型靶材背板加工修正机，包括修正机台，修正机台上分别设有抬高机构、下压机构，抬高机构用以自靶材背板的中部抬高靶材背板，下压机构用以对靶材背板的两端进行下压修正；

其中，抬高机构包括配合使用的升降组件、垫高组件，升降组件包括沿修正机台长度方向均布的多个能上下移动的升降板，多个升降板的上端能共同承托住靶材背板；垫高组件包括能沿修整机台宽度方向移动的垫高板，垫高板用以抵接在靶材背板下端的中部；当升降板处于最高位时，升降板的上端高于垫高板的上端。

工作时，将靶材背板放置到修正机台上，驱动升降板上移以使升降板带动靶材背板上移，当升降板移动至最高位时，靶材背板与修正机台之间留有间距，此时，驱动垫高板移动以使垫高板移动至靶材背板的下方；然后驱动升降板下移，靶材背板在重力作用下下移并抵接到垫高板上，此时，靶材背板除中部与垫高板抵接外，其余部位处于悬空状态，当升降板下移至最低位时，靶材背板可能会出现两端均悬空的状态，也可能会出现倾斜以使一端在重力作用下抵接在修正机台上，此时，通过下压机构分别对靶材背板的两端进行下压，因垫高板对靶材背板中部的支撑，靶材背板能整体呈现出折弯的状态，进而实现对其翘曲度的修正。

本实用新型的有益效果在于：

通过升降组件与垫高组件的配合即可实现对靶材背板的抬高，进而降低了人工操作的劳动强度；且将升降板处于最高位时的上端面高度设置为高于垫高板的上端，使得靶材背板在升降组件作用下能上升至高于垫高板，以便于垫高板能顺利插入到靶材背板的下方，以对靶材背板的中部进行支撑；然后通过下压机构对靶材背板两端的下端即可实现对靶材背板翘曲度的修正。该修正机操作简单，修正效率高。

进一步来说，垫高板的上端面为弧形面。以使得靶材背板折弯时能与垫高板的弧形面接触，避免垫高板对靶材背板的挤压损伤。

进一步来说，修正机台上开设有若干与升降板一一对应的通槽，升降板位于对应的通槽内，其下端与固接在修正机台上的升降气缸连接。通过升降气缸驱动升降板沿通槽上下移动。

进一步来说，当升降板处于最低位时，升降板的上端低于修正机台的上端。以使得升降板处于最低位时，靶材背板不会接触到升降板。