[实用新型]分割型靶材背板加工修正机有效
申请号: | 202222676628.6 | 申请日: | 2022-10-11 |
公开(公告)号: | CN218361414U | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 雷辉辉;李想 | 申请(专利权)人: | 爱发科电子材料(苏州)有限公司 |
主分类号: | B21D1/00 | 分类号: | B21D1/00 |
代理公司: | 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623 | 代理人: | 顾品荧 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分割 型靶材 背板 加工 修正 | ||
1.一种分割型靶材背板加工修正机,包括修正机台,其特征在于:所述修正机台上分别设有抬高机构、下压机构,所述抬高机构用以自靶材背板的中部抬高所述靶材背板,所述下压机构用以对靶材背板的两端进行下压修正;
其中,所述抬高机构包括配合使用的升降组件、垫高组件,所述升降组件包括沿所述修正机台长度方向均布的多个能上下移动的升降板,多个所述升降板的上端能共同承托住靶材背板;所述垫高组件包括能沿所述修正机台宽度方向移动的垫高板,所述垫高板用以抵接在所述靶材背板下端的中部;当所述升降板处于最高位时,所述升降板的上端高于所述垫高板的上端。
2.根据权利要求1所述的分割型靶材背板加工修正机,其特征在于:所述垫高板的上端面为弧形面。
3.根据权利要求1所述的分割型靶材背板加工修正机,其特征在于:所述修正机台上开设有若干与所述升降板一一对应的通槽,所述升降板位于对应的所述通槽内,其下端与固接在所述修正机台上的升降气缸连接。
4.根据权利要求3所述的分割型靶材背板加工修正机,其特征在于:当所述升降板处于最低位时,所述升降板的上端低于所述修正机台的上端。
5.根据权利要求1-4任一所述的分割型靶材背板加工修正机,其特征在于:所述垫高组件还包括固接在所述修正机台一侧且与所述修正机台上端齐平的垫高基座,所述垫高基座上设有用以驱动所述垫高板移动的垫高气缸。
6.根据权利要求5所述的分割型靶材背板加工修正机,其特征在于:所述修正机台的上端还开设有限位滑槽,所述垫高板远离所述垫高气缸的一侧还设有能沿所述限位滑槽移动的限位滑块。
7.根据权利要求1所述的分割型靶材背板加工修正机,其特征在于:所述下压机构设置有两个,每个下压机构均包括能沿所述修正机台长度方向移动的下压机架,所述下压机架上设有能在下压气缸驱动下对所述靶材背板的端部进行下压的下压板。
8.根据权利要求7所述的分割型靶材背板加工修正机,其特征在于:所述下压板的下端面为弧形面。
9.根据权利要求7所述的分割型靶材背板加工修正机,其特征在于:所述下压机架包括龙门架,所述龙门架的内侧对称设置有滑块;所述修正机台的两侧对称设置有供所述滑块滑动的机台滑槽。
10.根据权利要求1所述的分割型靶材背板加工修正机,其特征在于:还包括防护机构,所述防护机构包括下垫板及两个端部压板,所述下垫板位于所述靶材背板与升降组件之间,用以承托所述靶材背板;所述端部压板位于所述靶材背板的上方,用以压靠在靶材背板的端部。
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