[实用新型]一种阴极电弧靶的接线端

说明书

本实用新型公开了一种阴极电弧靶的接线端，包括水平放置的底座和用于固定接线的接线装置，所述接线装置包括设于底座上的固定板、设于固定板上的电弧靶、设于固定板上的阴极电弧线、开设于电弧靶上的沉积坑、设于底座下的固定座、设于固定座下的固定块、设于固定块上的固定螺栓、开设于固定块与固定座之间的接线槽、开设于固定块与固定座之间的保护槽，所述保护槽与接线槽联通，该实用新型通过设置固定螺栓、固定块、阴极电弧线、接线槽、保护槽、固定部、固定孔、安装套、底座、安装套、保护套、绝缘层、延长套、保护垫的配合使用，解决了阴极电弧靶的接线不稳，易损伤连接线所造成阴极电弧靶的供电问题引发不必要的财务损失的问题。

技术领域

本实用新型属于阴极电弧靶技术领域，尤其涉及一种阴极电弧靶的接线端。

背景技术

阴极电弧靶，离化率高，离子流密度大，离子流能量高，沉积速率快，膜基结合力好，利用固体靶材，没有熔池，靶材可以任意位置安装以保证镀膜均匀，可以沉积金属膜、合金膜，也可以反应镀合成各种化合物膜（氮化物、碳化物、氧化物），甚至可以合成DLC膜、CNx膜等，设备操作简单，技术易于推广，但是阴极电弧靶的接线不稳，易损伤连接线，造成阴极电弧靶的供电问题引发不必要的财务损失，现有技术存在的问题是：阴极电弧靶的接线不稳，易损伤连接线所造成阴极电弧靶的供电问题引发不必要的财务损失。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种阴极电弧靶的接线端，具备连接线固定保护的优点，解决了现有阴极电弧靶的接线不稳，易损伤连接线所造成阴极电弧靶的供电问题引发不必要的财务损失的问题。

本实用新型是这样实现的，一种阴极电弧靶的接线端，包括水平放置的底座和用于固定接线的接线装置，所述接线装置包括设于底座上的固定板、设于固定板上的电弧靶、设于固定板上的阴极电弧线、开设于电弧靶上的沉积坑、设于底座下的固定座、设于固定座下的固定块、设于固定块上的固定螺栓、开设于固定块与固定座之间的接线槽、开设于固定块与固定座之间的保护槽，所述保护槽与接线槽联通，所述阴极电弧线依次贯穿固定板和固定座，所述阴极电弧线与固定座滑动连接，所述固定螺栓与固定座和固定块螺纹连接。

作为本实用新型优选的，所述底座的外侧设有固定部，所述固定部内开设有两个固定孔，所述固定孔内设有安装套。

作为本实用新型优选的，所述电弧靶外侧设置有保护套。

作为本实用新型优选的，所述底座下设有绝缘层。

作为本实用新型优选的，所述保护套下设置有延长套。

作为本实用新型优选的，所述保护槽内设有保护垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置固定板、电弧靶、阴极电弧线、沉积坑、固定座、固定块、固定螺栓、接线槽、保护槽的配合使用，达到了使固定连接线和固定连接线的效果，拧动固定螺栓使固定块移动，此时把来电线与阴极电弧线连接，电线剥掉绝缘皮的一部分被接线槽挤压住，此时电源未剥掉绝缘皮的一部分被保护槽保护。

2、本实用新型通过设置固定部、固定孔、安装套的配合使用，能够使底座刚稳固的固定，不会发生晃动时影响底座的稳定，安装套是一种塑胶制品，可以使螺丝在固定孔内固定在相对应的螺丝孔内使对固定部进行保护，防止螺丝拧太紧损伤固定部。

3、本实用新型通过设置保护套，能够防止电弧靶的侧面被损坏。

4、本实用新型通过设置绝缘层，能够对底座进行绝缘保护。

5、本实用新型通过设置延长套，能够安装套延长进行保护。

6、本实用新型通过设置保护垫，能够使被剥皮的电线被保护。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的结构示意图；