[实用新型]一种阴极电弧靶的接线端

权利要求书

1.一种阴极电弧靶的接线端，包括水平放置的底座（1）和用于固定接线的接线装置，其特征在于：所述接线装置包括设于底座（1）上的固定板（2）、设于固定板（2）上的电弧靶（3）、设于固定板（2）上的阴极电弧线（4）、开设于电弧靶（3）上的沉积坑（5）、设于底座（1）下的固定座（6）、设于固定座（6）下的固定块（7）、设于固定块（7）上的固定螺栓（8）、开设于固定块（7）与固定座（6）之间的接线槽（9）、开设于固定块（7）与固定座（6）之间的保护槽（10），所述保护槽（10）与接线槽（9）联通，所述阴极电弧线（4）依次贯穿固定板（2）和固定座（6），所述阴极电弧线（4）与固定座（6）滑动连接，所述固定螺栓（8）与固定座（6）和固定块（7）螺纹连接。

2.如权利要求1所述的一种阴极电弧靶的接线端，其特征在于：所述底座（1）的外侧设有固定部（11），所述固定部（11）内开设有两个固定孔（12），所述固定孔（12）内设有安装套（13）。

3.如权利要求1所述的一种阴极电弧靶的接线端，其特征在于：所述电弧靶（3）外侧设置有保护套（14）。

4.如权利要求1所述的一种阴极电弧靶的接线端，其特征在于：所述底座（1）下设有绝缘层（15）。

5.如权利要求3所述的一种阴极电弧靶的接线端，其特征在于：所述保护套（14）下设置有延长套（16）。

6.如权利要求1所述的一种阴极电弧靶的接线端，其特征在于：所述保护槽（10）内设有保护垫（17）。