[实用新型]一种冷却头及裂片装置

权利要求书

1.一种冷却头，其特征在于，包括：可形变导热结构，所述可形变导热结构内部具有用于容纳换热介质的空腔，在所述空腔内注入所述换热介质后，所述可形变导热结构部分呈向下凸起的曲面结构，所述曲面结构的最下端为最低点，且所述曲面结构在由下至上的方向上横截面面积逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的冷却头，其特征在于，还包括刚性套筒，所述刚性套筒的底端外轮廓形状与封闭形状相一致或者成比例缩小，所述可形变导热结构套设于所述刚性套筒的下端，所述可形变导热结构的底端封堵所述刚性套筒的底端，所述空腔与所述刚性套筒内部相连通，在所述刚性套筒内部注入所述换热介质后，所述可形变导热结构的底端呈所述曲面结构。

3.根据权利要求2所述的冷却头，其特征在于，所述刚性套筒上设置有与其内部相连通的入口和出口，所述入口用于供所述换热介质进入所述刚性套筒内部，所述出口用于供所述换热介质自所述刚性套筒内部排出。

4.根据权利要求1所述的冷却头，其特征在于，所述可形变导热结构采用弹性导热材料制成。

5.根据权利要求1所述的冷却头，其特征在于，所述换热介质为液态换热介质。

6.一种裂片装置，其特征在于，包括：

冷却组件，所述冷却组件包括如权利要求1-5任一项所述的冷却头，所述冷却头用于对内部区域进行冷却；

驱动组件，所述驱动组件包括直线驱动装置，所述直线驱动装置与所述冷却头相连、以驱动所述冷却头朝向靠近或者远离玻璃的方向移动；

加热支撑组件，所述加热支撑组件包括支撑机构和用于加热外部区域的加热机构，所述玻璃放置于所述支撑机构上，所述支撑机构与所述冷却头相对的位置设置有开孔，所述开孔的尺寸不小于封闭形状的尺寸。

7.根据权利要求6所述的裂片装置，其特征在于，还包括弹性器件，所述直线驱动装置通过所述弹性器件与所述冷却头相连。

8.根据权利要求7所述的裂片装置，其特征在于，所述冷却组件包括两个所述冷却头，所述驱动组件包括两个所述直线驱动装置，所述弹性器件的数量为两个，两个所述冷却头、两个所述直线驱动装置以及两个所述弹性器件均对称设置于所述玻璃的两侧，设置于同一侧的所述冷却头、所述弹性器件以及所述直线驱动装置依次连接。

9.根据权利要求6所述的裂片装置，其特征在于，所述加热机构设置所述支撑机构内部，所述支撑机构采用导热材料制成。