[实用新型]一种半导体用超纯水过滤器

说明书

本实用新型公开了一种半导体用超纯水过滤器，包括壳体，以及与壳体可拆式连接的壳盖和壳座，所述壳体、壳盖以及壳座合围形成一个腔体结构，在所述壳座上设有进水管和出水管，所述进水管穿设入壳座并与腔体结构连通，在所述腔体结构内插设有过滤芯管，所述过滤芯管的出水端与出水管连通设置；在所述壳体、壳盖与壳座的内侧壁上以及进水管的插入端均涂抹有PVDF膜。本实用新型把过滤器设为可拆式连接的分体结构，便于涂抹PVDF膜，也便于及时更换过滤芯管，能有效保证超纯水过滤后的颗粒要求，结构简单紧凑，使用便捷。

技术领域

本实用新型涉及水处理技术领域，特别涉及一种半导体用超纯水过滤器。

背景技术

半导体行业和电子行业对超纯水中残留的颗粒物有严格的要求，现有半导体和电子行业超纯水的颗粒物去除工艺通常是运用抛光床和终端过滤器，终端过滤器一般采用滤芯式颗粒过滤器，主要是依靠滤芯的过滤来去除颗粒物；此外，超纯水的水质要求高，在过滤过程中不能与所接触的载体材料发生反应，以免超纯水失效，故实际颗粒物的过滤效果有限，难以达到国标规定值，因此需要在过滤器中隔断此类接触，但因为过滤器的整体比较庞大，设置保护膜并做好维护并不容易。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种既能保证超纯水的颗粒物过滤要求，又便于维护超纯水流转环境的半导体用超纯水过滤器。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种半导体用超纯水过滤器，包括壳体，以及与壳体可拆式连接的壳盖和壳座，所述壳体、壳盖以及壳座合围形成一个腔体结构，在所述壳座上设有进水管和出水管，所述进水管穿设入壳座并与腔体结构连通，在所述腔体结构内插设有过滤芯管，所述过滤芯管的出水端与出水管连通设置；在所述壳体、壳盖与壳座的内侧壁上以及进水管的插入端均涂抹有PVDF膜。

采用上述结构，把过滤器的整体分为壳体、壳盖以及壳座三部分，并设置为可拆式的连接，便于涂抹PVDF膜，以防止超纯水与壳体、壳盖以及壳座的材质发生反应，保证超纯水在过滤过程中颗粒标准的稳定性；同时，如发现超纯水的颗粒标准有变化需要检查时，在排完存水后，便于拆开过滤器对三部分进行分别检查，包括进水管的穿设位置，如发现PVDF膜有脱落或损伤，也能及时进行补救措施，尽快恢复过滤使用，也便于更换过滤芯管；过滤芯管设置在壳体、壳盖以及壳座合围形成的空腔体内，空腔体内填充由进水管注入的超纯水，即过滤芯管与超纯水充分接触，由过滤芯管过滤后的超纯水流到壳座内，并经出水管排出，结构简单紧凑，在保证了过滤效果的同时，也保证了超纯水颗粒要求的稳定性。

为了便于安装固定，同时避免超纯水的接触反应，作为优选，在所述壳体内的一端设有外壁涂抹有PVDF膜的固定板，在所述固定板上沿圆周方向均匀设有至少两个连接孔，每个所述连接孔内均套设有一个引流管；在所述壳盖上设有外壁涂抹了PVDF膜的安装板，在所述安装板上对应连接孔的位置处均设有限位孔，在每个所述限位孔内均设有安装座，该安装座的冒出端沿外形设有第二凸台，对应端的所述引流管与安装座之间套设有一个过滤芯管；组装时，壳盖扣合固定在壳体上，所述安装板、固定板与内管内壁合围形成一个空腔体，安装座的一端穿设过对应位置的限位孔并冒出安装板，且第二凸台的下端面与内管对应端的端面抵接，该第二凸台的上端面则与安装板的下端面抵接。

为了避免过滤回流，同时简化结构，作为优选，所述过滤芯管包括外管和内管，所述外管的内壁与内管的外壁合围形成一个环形空腔，在该环形空腔内填充有过滤介质；所述内管的一端与安装座套接固定，另一端与引流管套接贯通。

为了便于安装壳座，作为优选，所述壳座为内凹的圆弧状壳体结构，在该壳座上固设有外壁涂抹了PVDF膜的挡板，所述挡板与壳座的内侧壁合围形成一个与出水管连通的空腔；在所述挡板的中部设有与空腔体连通的固定孔，在该挡板上对应连接孔的位置处均设有导向孔，所述进水管穿设过壳座并插设固定在固定孔内；所述引流管的一端冒出固定板，该引流管的冒出端伸入导向孔内并与空腔连通。