[实用新型]一种半导体用超纯水过滤器

权利要求书

1.一种半导体用超纯水过滤器，其特征在于：包括壳体(1)，以及与壳体(1)可拆式连接的壳盖(11)和壳座(12)，所述壳体(1)、壳盖(11)以及壳座(12)合围形成一个腔体结构，在所述壳座(12)上设有进水管(31)和出水管(32)，所述进水管(31)穿设入壳座(12)并与腔体结构连通，在所述腔体结构内插设有过滤芯管，所述过滤芯管的出水端与出水管(32)连通设置；在所述壳体(1)、壳盖(11)与壳座(12)的内侧壁上以及进水管(31)的插入端均涂抹有PVDF膜。

2.根据权利要求1所述的一种半导体用超纯水过滤器，其特征在于：在所述壳体(1)内的一端设有外壁涂抹有PVDF膜的固定板(14)，在所述固定板(14)上沿圆周方向均匀设有至少两个连接孔，每个所述连接孔内均套设有一个引流管(16)；在所述壳盖(11)上设有外壁涂抹了PVDF膜的安装板(111)，在所述安装板(111)上对应连接孔的位置处均设有限位孔，在每个所述限位孔内均设有安装座(15)，该安装座(15)的冒出端沿外形设有第二凸台(151)，对应端的所述引流管(16)与安装座(15)之间套设有一个过滤芯管；组装时，壳盖(11)扣合固定在壳体(1)上，所述安装板(111)、固定板(14)与内管(22)内壁合围形成一个空腔体，安装座(15)的一端穿设过对应位置的限位孔并冒出安装板(111)，且第二凸台(151)的下端面与内管(22)对应端的端面抵接，该第二凸台(151)的上端面则与安装板(111)的下端面抵接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体用超纯水过滤器，其特征在于：所述过滤芯管包括外管(21)和内管(22)，所述外管(21)的内壁与内管(22)的外壁合围形成一个环形空腔，在该环形空腔内填充有过滤介质(23)；所述内管(22)的一端与安装座(15)套接固定，另一端与引流管(16)套接贯通。

4.根据权利要求2所述的一种半导体用超纯水过滤器，其特征在于：所述壳座(12)为内凹的圆弧状壳体结构，在该壳座(12)上固设有外壁涂抹了PVDF膜的挡板(41)，所述挡板(41)与壳座(12)的内侧壁合围形成一个与出水管(32)连通的空腔；在所述挡板(41)的中部设有与空腔体连通的固定孔(121)，在该挡板(41)上对应连接孔的位置处均设有导向孔(122)，所述进水管(31)穿设过壳座(12)并插设固定在固定孔(121)内；所述引流管(16)的一端冒出固定板(14)，该引流管(16)的冒出端伸入导向孔(122)内并与空腔连通。

5.根据权利要求4所述的一种半导体用超纯水过滤器，其特征在于：所述固定孔(121)为台阶孔，所述进水管(31)穿设出固定孔(121)的小孔端，该固定孔(121)的大孔端内铺设有密封垫(123)，在所述密封垫(123)上对应进水管(31)的穿出端设有让位孔，该进水管(31)的穿出端伸入让位孔中，且进水管(31)的外壁与让位孔的孔径相适配。

6.根据权利要求5所述的一种半导体用超纯水过滤器，其特征在于：在所述密封垫(123)上对应引流管(16)的位置处设有连接通孔，在所述引流管(16)的外侧壁沿外形设有第一凸台(161)，组装时，壳体(1)扣合固定在壳座(12)上，引流管(16)的冒出端伸入导向孔(122)内，且第一凸台(161)的下端面与密封垫(123)的上端面抵接，该第一凸台(161)的上端面则与内管(22)的下端面抵接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体用超纯水过滤器，其特征在于：在所述壳体(1)外侧壁的一端设有第一固定环(51)，在所述第一固定环(51)上沿圆周方向绕设有第一凹槽(511)；在所述壳座(12)的外侧壁设有第二固定环(52)，在所述第二固定环(52)上沿圆周方向绕设有第二凹槽(521)，所述第一固定环(51)与第二固定环(52)叠置时，所述第一凹槽(511)与第二凹槽(521)合围形成一个环柱形空腔，该环柱形空腔内设有形状相适配的密封圈(53)。

8.根据权利要求7所述的一种半导体用超纯水过滤器，其特征在于：在所述第一固定环(51)上设有至少两个固定槽(512)，在所述第二固定环(52)上对应固定槽(512)的位置处设有相连通的让位槽，在所述固定槽(512)内插入螺栓，该螺栓的螺帽与第一固定环(51)的上端面抵接，所述螺栓的插入端向下穿设出让位槽，该螺栓的穿出端螺接有螺母，该螺母与第二固定环(52)的下端面抵接，以固定两个固定环。