[实用新型]一种高温纯化设备的气罩分气盘系统

说明书

本实用新型涉及纯化设备技术领域，尤其是一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，针对存在的技术问题，现提出以下方案，包括基座和设于基座内的分气盘机构、载物机构，所述载物机构位于分气盘机构的上方，且载物机构和分气盘机构均水平设置，所述分气盘机构的底端设有注气法兰，且分气盘机构的内部设有气道，所述气道呈雪花状结构。该高温纯化设备的气罩分气盘系统，采用独特的气道结构，可有效的降低气道阻力，有利于纯化气体在气罩内部扩散，可使气体较为均匀且全面的垂直吹至载物托盘，载物托盘动态调节，可绕着定铅锤线动态转动调节，带动载物托盘始终维持动态水平状态，可以提高纯化气体通过物料的纯化效果。

技术领域

本实用新型属于纯化设备技术领域，具体涉及一种高温纯化设备的气罩分气盘系统。

背景技术

高温纯化设备属于真空热工设备，它采用先进的高温纯化技术，通过超高温(≥2200℃)真空气氛及氟利昂气体使石墨、硬质炭毡、石墨粉等材料中的杂质元素蒸发或生成低熔点的氯化物排除出产品本身之外达到纯化的目的，这些提纯后的物料又是生产三代半导体材料的基础材料。

我国高温纯化设备起步较晚，但得益于近几年高纯石墨、粉体和碳毡行业强劲的需求拉动，高温纯化技术也取得了飞速发展；但目前国内高温纯化设备纯化后的物料纯度不稳定，并且纯化水平一般在5N左右，与国外设备有一定的差距；

对于高温纯化设备而言，纯化气体的气罩分气盘系统设计对于提纯效果有很大的影响，一个好的气罩分气盘系统设计可以提高物料的纯化效果。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种结构简单，设计合理的高温纯化设备的气罩分气盘系统。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，包括基座和设于基座内的分气盘机构、载物机构，所述载物机构位于分气盘机构的上方，且载物机构和分气盘机构均水平设置；

所述分气盘机构的底端设有注气法兰，且分气盘机构的内部设有气道，所述气道呈雪花状结构，分气盘结构位于气道的上表面设有气孔；

所述载物机构的中部设有透气膜，且高温纯化设备所需纯化材料摊铺在透气膜上表面，所述分气盘机构通过注气法兰注入纯化气体，并通过气道和气孔出气，对透气膜上摊铺的纯化材料进行纯化作业。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述分气盘机构包括盘体，盘体的竖截面呈“工”字型结构，盘体的外壁卡接有密封圈，密封圈抵靠在基座的内壁上。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述基座的底端内边分布有若干个支撑单元，且载物机构安装在若干个支撑单元的内部。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述支撑单元包括穿杆、下托片、上托片和支撑弹簧，所述支撑弹簧、下托片和上托片均套设于穿杆的外壁上，且支撑弹簧位于下托片和上托片的端面之间，所述下托片和上托片呈L型结构，且下托片和上托片的下端朝向基座的内部。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述载物机构包括载物托盘和平衡单元，平衡单元设于载物托盘的上表面上，且平衡单元与载物托盘同心水平设置。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述平衡单元包括平衡滑道和磁性滚球，所述磁性滚球滚动连接在平衡滑道的内壁。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述载物托盘的外边设有支撑圈，且支撑圈的外壁等距分布有固定槽，固定槽的槽型和穿杆的外径相适配。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述载物托盘的底端外壁环形分布有传感电磁件，且传感电磁件设于平衡槽道的正下方。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述传感电磁件包括倾角传感器和电磁铁，倾角传感器和电磁铁之间通过电性连接。