[实用新型]一种高温纯化设备的气罩分气盘系统

权利要求书

1.一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，包括基座（100）和设于基座（100）内的分气盘机构（200）、载物机构（300），其特征在于：所述载物机构（300）位于分气盘机构（200）的上方，且载物机构（300）和分气盘机构（200）均水平设置；

所述分气盘机构（200）的底端设有注气法兰（240），且分气盘机构（200）的内部设有气道（250），所述气道（250）呈雪花状结构，分气盘结构位于气道（250）的上表面设有气孔（220）；

所述载物机构（300）的中部设有透气膜（500），且高温纯化设备所需纯化材料摊铺在透气膜（500）上表面，所述分气盘机构（200）通过注气法兰（240）注入纯化气体，并通过气道（250）和气孔（220）出气，对透气膜（500）上摊铺的纯化材料进行纯化作业。

2.根据权利要求1所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述分气盘机构（200）还包括盘体（210），盘体（210）的竖截面呈“工”字型结构，盘体（210）的外壁卡接有密封圈（230），密封圈（230）抵靠在基座（100）的内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述基座（100）的底端内边分布有若干个支撑单元（320），且载物机构（300）安装在若干个支撑单元（320）的内部。

4.根据权利要求3所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述支撑单元（320）包括穿杆（321）、下托片（322）、上托片（323）和支撑弹簧（324），所述支撑弹簧（324）、下托片（322）和上托片（323）均套设于穿杆（321）的外壁上，且支撑弹簧（324）位于下托片（322）和上托片（323）的端面之间，所述下托片（322）和上托片（323）呈L型结构，且下托片（322）和上托片（323）的下端朝向基座（100）的内部。

5.根据权利要求1所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述载物机构（300）包括载物托盘（310）和平衡单元（330），平衡单元（330）设于载物托盘（310）的上表面上，且平衡单元（330）与载物托盘（310）同心水平设置。

6.根据权利要求5所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述平衡单元（330）包括平衡滑道（331）和磁性滚球（332），所述磁性滚球（332）滚动连接在平衡滑道（331）的内壁。

7.根据权利要求5所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述载物托盘（310）的外边设有支撑圈（311），且支撑圈（311）的外壁等距分布有固定槽（312），固定槽（312）的槽型和穿杆（321）的外径相适配。

8.根据权利要求7所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述载物托盘（310）的底端外壁环形分布有传感电磁件（340），且传感电磁件（340）设于平衡槽道的正下方。

9.根据权利要求8所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述传感电磁件（340）包括倾角传感器和电磁铁，倾角传感器和电磁铁之间通过电性连接。

10.根据权利要求1所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述基座（100）的顶部可拆卸连接有顶部挡气罩（400），顶部挡气罩（400）和基座（100）的连接处设有通气间隙。