[实用新型]一种半导体检测设备

权利要求书

1.一种半导体检测设备，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的顶端一侧内部设有工作密闭空间(3)，所述工作密闭空间(3)与机体(1)固定连接，所述工作密闭空间(3)内部底端的中部设有固定防护垫(701)，所述固定防护垫(701)的底端设在机体(1)内壁上，所述固定防护垫(701)顶端端角处设有固定六角螺栓(703)，所述固定六角螺栓(703)贯穿固定防护垫(701)且固定在机体(1)上，所述固定防护垫(701)通过固定六角螺栓(703)与机体(1)固定连接，所述固定防护垫(701)的顶端中部设有活动旋转柱(702)，所述活动旋转柱(702)贯穿固定防护垫(701)且活动连接，所述活动旋转柱(702)的顶端设有旋转工作承台(7)，所述活动旋转柱(702)与旋转工作承台(7)固定连接，所述旋转工作承台(7)的顶端相对的两个端角均设有第一角度旋转连接柱(704)，所述第一角度旋转连接柱(704)贯穿旋转工作承台(7)且活动连接，所述第一角度旋转连接柱(704)的顶端均设有支撑旋转臂(705)，所述第一角度旋转连接柱(704)与支撑旋转臂(705)活动连接，所述支撑旋转臂(705)远离第一角度旋转连接柱(704)一侧的顶端均设有第二角度旋转连接柱(706)，所述第二角度旋转连接柱(706)与支撑旋转臂(705)活动连接，所述第二角度旋转连接柱(706)的顶端均设有连接工作臂(707)，所述第二角度旋转连接柱(706)与连接工作臂(707)活动连接，所述连接工作臂(707)远离第二角度旋转连接柱(706)一侧的底端设有拿放固定夹(709)，所述拿放固定夹(709)靠近连接工作臂(707)的一端设有固定螺栓(708)，所述固定螺栓(708)贯穿拿放固定夹(709)且固定在连接工作臂(707)内，所述拿放固定夹(709)通过固定螺栓(708)与连接工作臂(707)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测设备，其特征在于：所述工作密闭空间(3)内部一侧的顶端设有第一固定连接管(4)，所述第一固定连接管(4)与工作密闭空间(3)固定连接，所述第一固定连接管(4)的底端设有传感检测器(5)，所述第一固定连接管(4)与传感检测器(5)固定连接，所述第一固定连接管(4)的一侧设有第二固定连接管(10)，所述第二固定连接管(10)的顶端固定连接有工作密闭空间(3)，所述第二固定连接管(10)的底端固定连接有显微检测仪(11)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体检测设备，其特征在于：所述工作密闭空间(3)内部另一侧的顶端设有固定连接柱(801)，所述固定连接柱(801)与工作密闭空间(3)固定连接，所述固定连接柱(801)的底端设有传感箱(8)，所述传感箱(8)与固定连接柱(801)固定连接，所述传感箱(8)的底端设有X光感器(802)，所述传感箱(8)与X光感器(802)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体检测设备，其特征在于：所述工作密闭空间(3)内部靠近第一固定连接管(4)一侧的底端设有检测平台(6)，所述检测平台(6)的底端固定连接有机体(1)，所述检测平台(6)的顶端中部开设有活动开口(601)，所述活动开口(601)的两侧均设有防护条(602)，所述防护条(602)的底端固定连接有检测平台(6)，所述防护条(602)的内部设有移动测柱(603)，所述活动开口(601)与移动测柱(603)活动连接，所述移动测柱(603)的顶端设有第一导体承台(604)，所述移动测柱(603)与第一导体承台(604)固定连接。