[实用新型]一种晶环校正装置及固晶机有效

专利信息
申请号: 202222331902.6 申请日: 2022-09-01
公开(公告)号: CN218602383U 公开(公告)日: 2023-03-10
发明(设计)人: 邱国良;张晓伟;王军建 申请(专利权)人: 东莞市凯格精机股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/687;H01L21/677
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 杜嘉伟
地址: 523000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 校正 装置 固晶机
【权利要求书】:

1.一种晶环校正装置,其特征在于,包括支撑板(1)和可转动安装于所述支撑板(1)上的转动环(2);

所述转动环(2)包括用于承载晶环的承载环部(21)、与承载环部(21)连接的传动环部(22)和与所述支撑板(1)转动连接的安装环部(23);所述承载环部(21)、所述传动环部(22)和所述安装环部(23)一体成型;

所述支撑板(1)上还安装有用于驱动所述转动环(2)相对所述支撑板(1)转动的驱动装置(3),所述驱动装置(3)和所述传动环部(22)传动连接。

2.根据权利要求1所述的晶环校正装置,其特征在于,所述传动环部(22)的外周面上圆周阵列有传动齿;

所述驱动装置(3)包括安装在所述支撑板(1)上的传动电机(31)、传动带(32)和安装在所述传动电机(31)旋转轴上的主传动轮(33);所述传动带(32)张紧地设置于所述传动环部(22)和所述主传动轮(33)之间,且所述传动带(32)分别啮合所述传动齿和所述主传动轮(33)。

3.根据权利要求1所述的晶环校正装置,其特征在于,所述支撑板(1)上设置有圆环形滑轨,所述安装环部(23)可滑动安装于所述圆环形滑轨上。

4.根据权利要求1所述的晶环校正装置,其特征在于,所述支撑板(1)上圆周阵列有若干个导轮(4),所述安装环部(23)具有环形凸出部,所述导轮(4)设置有与所述环形凸出部相匹配的环形凹槽;

所述导轮(4)可转动安装于所述支撑板(1)上,所述环形凸出部和所述环形凹槽相贴合,且所述环形凸出部与所述环形凹槽滑动连接。

5.根据权利要求1所述的晶环校正装置,其特征在于,所述转动环(2)上设置有夹持通槽(201),所述晶环安装于所述承载环部(21)时,所述夹持通槽(201)的槽底低于所述晶环的底面。

6.根据权利要求1所述的晶环校正装置,其特征在于,还包括X向滑轨(51),所述支撑板(1)与所述X向滑轨(51)滑动连接;

所述晶环校正装置还包括用于带动所述支撑板(1)沿所述X向滑轨(51)滑动的X向驱动结构。

7.根据权利要求6所述的晶环校正装置,其特征在于,还包括Y向滑轨(61)和与所述Y向滑轨(61)滑动连接的承载板(62),所述X向滑轨(51)安装于所述承载板(62)上;

所述晶环校正装置还包括用于带动所述承载板(62)沿所述Y向滑轨(61)滑动的Y向驱动结构。

8.根据权利要求2所述的晶环校正装置,其特征在于,所述支撑板(1)上还设置有张紧所述传动带(32)的张紧轮(7)。

9.根据权利要求1所述的晶环校正装置,其特征在于,所述支撑板(1)上还设置有用于检测所述转动环(2)转动角度的传感器(8),且所述传感器(8)与所述驱动装置(3)电性连接。

10.一种固晶机,其特征在于,包括有如权利要求1-9中任一项所述的晶环校正装置。

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