[实用新型]一种晶圆自动化搬运测试装置

权利要求书

1.一种晶圆自动化搬运测试装置，其特征在于，包括支撑平台(1)，所述支撑平台(1)上设置有蓝膜供料机构(2)，所述蓝膜供料机构(2)上方设置有自动取料机构(3)，所述自动取料机构(3)上方设置有芯片搬运机构(4)，所述芯片搬运机构(4)下方一侧设置有定位组件(5)，所述定位组件(5)一侧设置有测试组件(6)，所述芯片搬运机构(4)下方一侧设置有芯片下料机构(7)，所述芯片下料机构(7)下方设置有安装在支撑平台(1)上的蓝膜下料机构(8)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动化搬运测试装置，其特征在于，所述蓝膜供料机构(2)包括设置在支撑平台(1)上的横向导向导轨(9)，所述横向导向导轨(9)上设置有横向移动滑块(10)，所述横向移动滑块(10)上设置有横向移动板(11)，所述横向移动板(11)上设置有设置有纵向供料机构(12)，所述横向移动板(11)的底部设置有横向驱动组件(13)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆自动化搬运测试装置，其特征在于，所述横向驱动组件(13)包括设置在支撑平台(1)上位于两根横向导向导轨(9)之间的横向动力电机(14)，所述横向动力电机(14)的输出端设置有横向传动丝杆(15)，所述横向传动丝杆(15)上设置有横向传动螺母(16)，所述横向传动螺母(16)与横向移动板(11)连接。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆自动化搬运测试装置，其特征在于，所述纵向供料机构(12)包括设置在横向移动板(11)上的纵向导向导轨(17)，所述纵向导向导轨(17)上设置有纵向移动滑块(18)，所述纵向移动滑块(18)上设置有纵向移动板(19)，所述纵向移动板(19)上设置有蓝膜供料盘(20)，所述纵向移动板(19)底部设置有纵向驱动组件(21)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆自动化搬运测试装置，其特征在于，所述纵向驱动组件(21)包括设置在横向移动板(11)上的纵向动力电机(22)，所述纵向动力电机(22)的输出端设置有纵向传动丝杆(23)，所述纵向传动丝杆(23)上设置有纵向传动螺母(24)，所述纵向传动螺母(24)与所述纵向移动板(19)连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆自动化搬运测试装置，其特征在于，所述自动取料机构(3)包括设置在蓝膜供料盘(20)上方的取料架(25)，所述取料架(25)上设置有旋转取料盘(26)，所述旋转取料盘(26)上设置有若干个取料工装(27)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆自动化搬运测试装置，其特征在于，所述芯片搬运机构(4)包括设置在自动取料机构(3)上方的芯片搬运架(28)，所述芯片搬运架(28)上设置有芯片搬运转盘(29)，所述芯片搬运转盘(29)上设置有若干个芯片搬运工装(30)。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆自动化搬运测试装置，其特征在于，所述芯片下料机构(7)包括设置在芯片搬运机构(4)下方一侧的下料架(31)，所述下料架(31)上设置有旋转下料盘(32)，所述旋转下料盘(32)上设置有若干个下料工装(33)。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆自动化搬运测试装置，其特征在于，所述蓝膜下料机构(8)包括设置在支撑平台(1)上的蓝膜支撑架(34)，所述蓝膜支撑架(34)上设置有蓝膜存放盘(35)。