[实用新型]溅射阴极装置

权利要求书

1.溅射阴极装置，其特征在于，包括阴极安装法兰(1)、溅射阴极外护罩(2)、靶管(3)和磁棒(4)，所述阴极安装法兰(1)和所述溅射阴极外护罩(2)形成容置腔，所述靶管(3)和所述磁棒(4)可转动设置在所述容置腔内，所述溅射阴极外护罩(2)上贯穿开设有溅射孔(211)，所述靶管(3)对应所述溅射孔(211)设置。

2.根据权利要求1所述的溅射阴极装置，其特征在于，所述溅射阴极外护罩(2)包括可拆卸连接的顶盖(21)和基体(22)，所述基体(22)为筒状，所述顶盖(21)覆盖在所述基体(22)远离所述阴极安装法兰(1)的一端开口处，所述溅射孔(211)开设在所述顶盖(21)上。

3.根据权利要求2所述的溅射阴极装置，其特征在于，所述溅射阴极外护罩(2)还包括连接边沿(23)，所述连接边沿(23)连接于所述基体(22)，所述连接边沿(23)可拆卸连接于所述阴极安装法兰(1)。

4.根据权利要求2所述的溅射阴极装置，其特征在于，所述靶管(3)和所述溅射孔(211)均设置有两个，所述溅射阴极外护罩(2)还包括设置在所述容置腔内的挡壁(24)，所述挡壁(24)设置在两个所述溅射孔(211)之间。

5.根据权利要求1所述的溅射阴极装置，其特征在于，所述溅射孔(211)的宽度小于所述靶管(3)的宽度。

6.根据权利要求1-5任一项所述的溅射阴极装置，其特征在于，还包括布气组件，所述布气组件设置在所述容置腔内，所述布气组件沿所述靶管(3)的轴向延伸。

7.根据权利要求6所述的溅射阴极装置，其特征在于，所述布气组件包括气体输出管(5)和挡流板(6)，所述挡流板(6)设置在所述气体输出管(5)与所述靶管(3)之间。

8.根据权利要求7所述的溅射阴极装置，其特征在于，所述挡流板(6)包括主板(61)和两个侧板(62)，两个所述侧板(62)分别设置在所述主板(61)的两侧，所述侧板(62)朝向所述阴极安装法兰(1)的底壁倾斜设置。

9.根据权利要求1所述的溅射阴极装置，其特征在于，还包括内挡板(7)，所述内挡板(7)设置在所述容置腔内，且铺设在所述阴极安装法兰(1)的内侧。

10.根据权利要求8所述的溅射阴极装置，其特征在于，还包括对接板(71)，所述对接板(71)设置在所述侧板(62)与所述底壁之间，且所述对接板(71)与所述侧板(62)平行间隔设置。