[实用新型]一种铬版光罩周转箱有效
| 申请号： | 202222255261.0 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN218158721U | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 刘玉闯;司继伟;杜武兵 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/66 | 分类号： | G03F1/66 |
| 代理公司： | 成都行之智信知识产权代理有限公司 51256 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铬版光罩 周转 | ||
1.一种铬版光罩周转箱，其特征在于，包括：
箱体(1)，所述箱体(1)具有用于装取铬版光罩的装取槽；
导电体(2)，所述导电体(2)设置在所述装取槽内以在装取铬版光罩时持续与铬版光罩接触，所述导电体(2)具有位于所述箱体(1)外的接地端。
2.根据权利要求1所述的一种铬版光罩周转箱，其特征在于，所述导电体(2)呈箔状。
3.根据权利要求1所述的一种铬版光罩周转箱，其特征在于，包括连接件(3)，所述连接件(3)与所述导电体(2)连接，所述连接件(3)还与所述箱体(1)可拆卸连接。
4.根据权利要求3所述的一种铬版光罩周转箱，其特征在于，所述连接件(3)可拆卸连接于所述箱体(1)的外侧壁上。
5.根据权利要求3所述的一种铬版光罩周转箱，其特征在于，所述连接件(3)与所述箱体(1)卡接。
6.根据权利要求1所述的一种铬版光罩周转箱，其特征在于，所述箱体(1)上设置有把手(4)。
7.根据权利要求1所述的一种铬版光罩周转箱，其特征在于，包括与所述箱体(1)适配的盖体(5)。
8.根据权利要求7所述的一种铬版光罩周转箱，其特征在于，所述盖体(5)上设置有用于监测装取槽内温度的温度计。
9.根据权利要求7或权利要求8所述的一种铬版光罩周转箱，其特征在于，所述盖体(5)上设置有用于监测装取槽内湿度的湿度计。
10.根据权利要求1所述的一种铬版光罩周转箱，其特征在于，所述导电体(2)为铜件。
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G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
