[实用新型]一种降低单晶炉功耗的炉底结构和设有该结构的单晶炉有效
申请号: | 202222250782.7 | 申请日: | 2022-08-25 |
公开(公告)号: | CN218345584U | 公开(公告)日: | 2023-01-20 |
发明(设计)人: | 李鹏飞;许建;王建平;王林 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 降低 单晶炉 功耗 结构 设有 | ||
1.一种降低单晶炉功耗的炉底结构,包括固化毡保温层,所述固化毡保温层铺设在单晶炉底部,其特征在于:所述固化毡保温层顶部设置隔热层,所述隔热层内部设有真空腔体,用于阻断热量传递。
2.根据权利要求1所述的一种降低单晶炉功耗的炉底结构,其特征在于:所述真空腔体数量为多个,均布在所述隔热层内部。
3.根据权利要求1或2所述的一种降低单晶炉功耗的炉底结构,其特征在于:所述真空腔体的形状为球型或者椭球型。
4.根据权利要求1所述的一种降低单晶炉功耗的炉底结构,其特征在于:所述隔热层设有多层隔热分层,上层隔热分层与下层隔热分层边缘对齐设置。
5.根据权利要求4所述的一种降低单晶炉功耗的炉底结构,其特征在于:所述隔热分层的厚度相同。
6.根据权利要求4所述的一种降低单晶炉功耗的炉底结构,其特征在于:所述隔热分层的顶部设有下凹容腔,底部设有上凹容腔,所述上凹容腔与下凹容腔间隔设置,所述上层隔热分层的上凹容腔与下层隔热分层的下凹容腔形成所述真空腔体。
7.根据权利要求6所述的一种降低单晶炉功耗的炉底结构,其特征在于:位于所述隔热层顶部的隔热分层顶部不设所述下凹容腔。
8.根据权利要求6所述的一种降低单晶炉功耗的炉底结构,其特征在于:位于所述隔热层底部的隔热分层底部不设所述上凹容腔。
9.根据权利要求1所述的一种降低单晶炉功耗的炉底结构,其特征在于:所述固化毡保温层与隔热层的厚度相同。
10.一种单晶炉,其特征在于:底部设置如权利要求1-9中任一项所述的降低单晶炉功耗的炉底结构。
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