[实用新型]不规则晶圆盒的夹持装置及晶圆盒装载仓有效
| 申请号： | 202222169423.9 | 申请日： | 2022-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN218730839U | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 满红星;杨硕;陶永钧 | 申请（专利权）人： | 淄博绿能芯创电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 王丹东 |
| 地址： | 255025 山东省淄博市高新区中*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 不规则 晶圆盒 夹持 装置 盒装 | ||
1.一种不规则晶圆盒的夹持装置，其特征在于，包括：移动滑块(1)、主体框架(2)、固定夹块(3)、移动滑轨(4)；
所述移动滑轨(4)安装在所述主体框架(2)上，所述移动滑块(1)滑配连接所述移动滑轨(4)，所述移动滑块(1)侧面安装所述固定夹块(3)。
2.根据权利要求1所述不规则晶圆盒的夹持装置，其特征在于：所述移动滑轨(4)侧边设置为波纹状，所述移动滑轨(4)两端安装在所述主体框架(2)上。
3.根据权利要求1所述不规则晶圆盒的夹持装置，其特征在于：所述移动滑轨(4)两端设置轨道挡头(5)，所述轨道挡头(5)固定安装在所述主体框架(2)上。
4.根据权利要求1所述不规则晶圆盒的夹持装置，其特征在于：所述移动滑块(1)设置有多个。
5.根据权利要求2所述不规则晶圆盒的夹持装置，其特征在于：所述移动滑块(1)套装在所述移动滑轨(4)上并允许沿所述移动滑轨(4)的波纹状侧边滑动。
6.根据权利要求1所述不规则晶圆盒的夹持装置，其特征在于：所述固定夹块(3)采用弹性材质的材料，所述固定夹块(3)采用海绵垫、橡胶垫或弹簧片。
7.根据权利要求3所述不规则晶圆盒的夹持装置，其特征在于：所述移动滑块(1)、所述主体框架(2)、所述移动滑轨(4)以及轨道挡头(5)采用不锈钢材质。
8.一种晶圆盒装载仓，其特征在于：所述晶圆盒装载仓采用权利要求1-7任一项所述不规则晶圆盒的夹持装置。
9.根据权利要求8所述晶圆盒装载仓，其特征在于，包括：装载平台(8)；
晶圆盒(7)放置在所述装载平台(8)上，所述晶圆盒(7)背向所述装载平台(8)一侧为晶圆盒不平整表面(6)。
10.根据权利要求9所述晶圆盒装载仓，其特征在于：所述主体框架(2)上安装有多个所述移动滑块(1)，多个所述移动滑块(1)的固定夹块(3)按压在所述晶圆盒不平整表面(6)上，所述晶圆盒不平整表面(6)与所述固定夹块(3)接触的位置处于同一平面上。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
