[实用新型]一种真空门阀

说明书

本实用新型公开了一种真空门阀，包括固定板、驱动板、密封板、具有第一伸缩杆的第一气缸和具有第二伸缩杆的第二气缸；所述第一气缸安装在所述固定板上，所述第一伸缩杆与所述驱动板固定；所述第二气缸安装在所述驱动板上，所述第二伸缩杆与所述密封板固定、且与所述第一伸缩杆呈垂直关系；采用上述结构，通过第一气缸和第二气缸分别驱动驱动板和密封板动作，由于第一伸缩杆与第二伸缩杆呈垂直关系，使得该真空门阀的密封板可分别在第一伸缩杆和第二伸缩杆作用下向相互垂直的两个方向移动，一方面防止真空门阀对进出料口的工件造成阻挡或干涉，另一方面保证了真空门阀的密封效果。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空门阀。

背景技术

真空镀膜是在真空炉内将材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。传统的真空炉通常为单体结构，在真空炉的侧面开门，该门与真空炉铰接，在镀件每次镀膜时，需要工作人员手动开关门，以将镀件置入或取出，非常不方便。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种开关方便的真空门阀。

本实用新型所采用的技术方案是：

一种真空门阀，包括固定板、驱动板、密封板、具有第一伸缩杆的第一气缸和具有第二伸缩杆的第二气缸；所述第一气缸安装在所述固定板上，所述第一伸缩杆与所述驱动板固定；所述第二气缸安装在所述驱动板上，所述第二伸缩杆与所述密封板固定、且与所述第一伸缩杆呈垂直关系。

进一步，所述第一气缸为两个，两个第一气缸分别固定安装在靠近所述固定板两侧的位置，两个所述第一伸缩杆均与所述驱动板连接。

进一步，所述固定板位于所述驱动板的侧面。

进一步，所述固定板为间隔设置的两块，两块固定板上均开设有固定孔。

进一步，所述第二气缸为三个，三个第二气缸分别固定安装在所述驱动板的中间以及靠近驱动板两侧的位置，三个所述第二伸缩杆均与所述密封板连接。

进一步，所述驱动板和密封板重叠设置。

进一步，沿所述密封板周向设有向驱动板方向凹陷的凹槽，在该凹槽内设有密封圈。

进一步，还包括挡板，该挡板通过立柱固定安装在所述驱动板上、且远离所述密封板的一侧，在所述挡板与所述驱动板之间形成容置空间。

本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为本申请实施例所提供的真空门阀的结构示意图；

图2为本申请实施例所提供的真空门阀的侧视图；

图3为本申请实施例所提供的密封板的结构示意图。

其中，固定板1、固定孔11、第一气缸2、挡板3、立柱4、驱动板5、密封板6、第二气缸7、凹槽61。

具体实施方式

这里，要说明的是，本实用新型涉及的功能、方法等仅仅是现有技术的常规适应性应用。因此，本实用新型对于现有技术的改进，实质在于硬件之间的连接关系，而非针对功能、方法本身，也即本实用新型虽然涉及一点功能、方法，但并不包含对功能、方法本身提出的改进。本实用新型对于功能、方法的描述，是为了更好的说明本实用新型，以便更好的理解本实用新型。