[实用新型]一种真空门阀有效

专利信息
申请号: 202222104991.0 申请日: 2022-08-10
公开(公告)号: CN218207872U 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 圣思科技(廊坊)有限公司
主分类号: F16K3/02 分类号: F16K3/02;F16K31/12;F16K51/02;C23C14/56
代理公司: 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 代理人: 胡林
地址: 065000 河北省廊坊市香河县经济开发区运*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 门阀
【权利要求书】:

1.一种真空门阀,其特征在于,包括固定板、驱动板、密封板、具有第一伸缩杆的第一气缸和具有第二伸缩杆的第二气缸;所述第一气缸安装在所述固定板上,所述第一伸缩杆与所述驱动板固定;所述第二气缸安装在所述驱动板上,所述第二伸缩杆与所述密封板固定、且与所述第一伸缩杆呈垂直关系。

2.根据权利要求1所述的真空门阀,其特征在于,所述第一气缸为两个,两个第一气缸分别固定安装在靠近所述固定板两侧的位置,两个所述第一伸缩杆均与所述驱动板连接。

3.根据权利要求1所述的真空门阀,其特征在于,所述固定板位于所述驱动板的侧面。

4.根据权利要求1所述的真空门阀,其特征在于,所述固定板为间隔设置的两块,两块固定板上均开设有固定孔。

5.根据权利要求1所述的真空门阀,其特征在于,所述第二气缸为三个,三个第二气缸分别固定安装在所述驱动板的中间以及靠近驱动板两侧的位置,三个所述第二伸缩杆均与所述密封板连接。

6.根据权利要求1所述的真空门阀,其特征在于,所述驱动板和密封板重叠设置。

7.根据权利要求1所述的真空门阀,其特征在于,沿所述密封板周向设有向驱动板方向凹陷的凹槽,在该凹槽内设有密封圈。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的真空门阀,其特征在于,还包括挡板,该挡板通过立柱固定安装在所述驱动板上、且远离所述密封板的一侧,在所述挡板与所述驱动板之间形成容置空间。

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