[实用新型]一种用于生产半导体的自动化设备的机壳

权利要求书

1.一种用于生产半导体的自动化设备的机壳，其特征在于：包括底板(1)上设有壳体组件，所述壳体组件内设有滑动组件，所述滑动组件上设有放置组件，所述放置组件上设有集尘组件，所述集尘组件一端设有推动组件，所述壳体组件一侧设有缓冲组件。

2.根据权利要求1所述的一种用于生产半导体的自动化设备的机壳，其特征在于：所述壳体组件包括设置在底板(1)上的挡板一(2)，所述挡板一(2)上通过卡栓(4)卡接有挡板二(3)。

3.根据权利要求2所述的一种用于生产半导体的自动化设备的机壳，其特征在于：所述滑动组件包括固定设置在挡板一(2)一侧的连接块(5)，所述连接块(5)一端设有齿轮条(6)，所述齿轮条(6)一侧滑动设有滑架(7)，所述滑架(7)通过转轴(8)转动设有蜗轮(9)，且所述蜗轮(9)与所述齿轮条(6)之间为啮合连接，所述蜗轮(9)一侧啮合设有蜗杆(10)，所述蜗杆(10)一端设有电机(11)。

4.根据权利要求3所述的一种用于生产半导体的自动化设备的机壳，其特征在于：所述放置组件包括设置在滑架(7)上的支撑板一(12)，所述支撑板一(12)上固定设有放置板(13)，所述放置板(13)一侧设有挡板三(14)。

5.根据权利要求4所述的一种用于生产半导体的自动化设备的机壳，其特征在于：所述集尘组件包括设置在挡板三(14)上的吸尘器(15)，所述挡板一(2)一侧设有支撑板二(16)，所述支撑板二(16)上设有集尘箱(17)。

6.根据权利要求5所述的一种用于生产半导体的自动化设备的机壳，其特征在于：所述推动组件包括通过连接轴(18)转动设置在支撑板二(16)上的转杆(19)，所述转杆(19)上设有握手(20)。

7.根据权利要求2所述的一种用于生产半导体的自动化设备的机壳，其特征在于：所述缓冲组件包括设置在挡板一(2)一侧的套杆(21)，所述套杆(21)一侧通过弹簧(22)与套筒(23)之间弹性连接。