[实用新型]半导体外延设备专用鼓风机

权利要求书

1.一种半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：

包括外壳体、定子组件、转子组件和接线组件；

所述外壳体呈圆筒状，外壳体的内周靠近其前端设有环形凸台，外壳体的内周沿轴向设有若干条由所述环形凸台向后延伸至接近该外壳体后端的凸键，外壳体的侧壁位于所述凸键的后方开设有第一通孔；

所述定子组件包括外套体、内套体和定子线圈，所述外套体适配于所述外壳体内，所述外壳体的后端可拆卸地安装有环形盖板，该外套体的两端抵在所述环形凸台和环形盖板之间，所述外套体的外周沿轴向设有若干条贯穿前后两端的键槽，且各所述凸键一一对应插入各所述键槽内，所述外套体的后端设有一缺口，该缺口与所述第一通孔之间通过一所述键槽相连，所述内套体同轴设于所述外套体内，内套体和外套体之间通过若干导流片相连，相邻两个所述导流片之间形成气流通道，内套体的侧壁上靠近其后端还设有第二通孔，所述定子线圈设于所述内套体内；

所述转子组件转动适配于所述定子线圈内，内套体的后端可拆卸地安装有后盖，所述转子组件后端设有第一转轴，所述第一转轴通过第一轴承安装于所述后盖上，转子组件的前端设有第二转轴，所述第二转轴通过第二轴承安装于所述内套体的前端，第二转轴的前端还安装有适配于所述外壳体内的叶轮；

所述接线组件包括电连接器和导线，所述电连接器设于所述外壳体外，所述导线的一端与所述电连接器相连，导线的另一端依次穿过所述第一通孔、键槽、缺口和第二通孔后与所述定子线圈相连。

2.根据权利要求1所述的半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：所述外壳体的后端设有第一连接环，所述环形盖板通过螺栓固定于所述第一连接环。

3.根据权利要求2所述的半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：所述环形盖板的后侧设有凸出的环形接口。

4.根据权利要求1所述的半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：所述内套体的后端设有第二连接环，所述后盖通过螺栓固定于所述第二连接环，后盖的前侧设有定位环，所述定位环适配于所述内套体内。

5.根据权利要求1所述的半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：所述后盖的后侧设有第一轴承安装槽，所述第一轴承安装于所述第一轴承安装槽内，所述后盖的后侧通过螺丝安装有将第一轴承固定在第一轴承安装槽内的第一轴承压盖。

6.根据权利要求1所述的半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：所述内套体的前端具有封板，所述封板的前侧设有轴承安装架和第二轴承压盖，所述轴承安装架的前侧设有第二轴承安装槽，所述第二轴承安装于所述第二轴承安装槽内，所述第二轴承压盖设于所述轴承安装架的前侧并将所述第二轴承固定在第二轴承安装槽内，轴承安装架和第二轴承压盖通过螺丝固定于所述封板。

7.根据权利要求6所述的半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：所述叶轮包括罩在所述内套体前端的轴承安装架和第二轴承压盖外的轮盘、以及沿周向间隔设于所述轮盘外的多个叶片，所述轮盘的中心固定于所述第二转轴上。

8.根据权利要求1所述的半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：所述外壳体的前端设有锥形出风口。

9.根据权利要求8所述的半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：所述外壳体的前端设有第三连接环，所述锥形出风口的后端设有第四连接环，所述第三连接环和第四连接环之间通过螺栓固定。

10.根据权利要求9所述的半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：

所述外壳体和锥形出风口之间还设有网孔板，所述网孔板的周部固定在所述第三连接环和第四连接环之间。