[实用新型]一种光刻胶涂覆装置

权利要求书

1.一种光刻胶涂覆装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的外侧壁安装有罩体(3)，所述罩体(3)的顶端安装有安装座(5)，且安装座(5)的内部安装有电热板(4)，所述底座(1)的内部设置有转动机构(8)，所述转动机构(8)的顶端设置有真空吸盘机构(7)，且真空吸盘机构(7)的顶端设置有芯片(6)，所述芯片(6)的一侧设置有毛刷(2)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于：所述罩体(3)的横截面大于底座(1)的横截面，所述罩体(3)与底座(1)之间相配适。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于：所述安装座(5)设置有两组，两组所述安装座(5)与电热板(4)之间构成卡合结构。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于：所述转动机构(8)包括伺服电机(801)，所述伺服电机(801)安装于底座(1)内部的顶端，所述伺服电机(801)的顶端安装有转动板(804)，且转动板(804)的顶端与真空吸盘机构(7)的底端固定，所述转动板(804)的底端均安装有转动杆(803)，所述转动杆(803)的外部设置有转动槽(802)，且转动槽(802)设置于底座(1)的内部。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于：所述转动槽(802)为环形槽，所述转动槽(802)与转动杆(803)之间构成滑动结构。

6.根据权利要求4所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于：所述转动杆(803)设置有四组，四组所述转动杆(803)关于转动板(804)的中轴线呈对称分布。