[实用新型]高功率纳秒腔外五倍频激光器

权利要求书

1.一种高功率纳秒腔外五倍频激光器，其特征在于包括高功率纳秒二三倍频产生系统，五倍频和频系统，所述的高功率纳秒二三倍频产生系统为高功率固体纳秒激光器，其包括全反镜(11)，Q开光(12)，第一透镜(131)，激光晶体(14)，第二透镜(132)，第一二向色镜(15)，和频晶体一(16)，和频晶体二(17)，多波长反射镜(18)和两个高功率泵浦耦合系统组成，所述的五倍频和频系统，其包括第二二向色镜(21)，二倍频光路系统，三倍光路系统，第三二向色镜(24)，五倍频晶体(25)，分束装置(26)以及挡光装置(27)。

2.根据权利要求1所述的高功率纳秒腔外五倍频激光器，其中特征在于包括高功率泵浦耦合系统，所述高功率泵浦耦合系统为双端泵泵浦系统，两个高功率光纤耦合模块分别通过第一耦合系统(191)，第二耦合系统(192)共同泵浦激光晶体(14)，高功率泵浦耦合系统采用878nm或者888nm的泵浦光，用于减少激光晶体的量子亏损，产生更高的泵浦功率和更低的热效应。

3.根据权利要求1所述的高功率纳秒腔外五倍频激光器，其特征在于包括第一二向色镜(15)，所述第一二向色镜(15)为低通滤光片，用于让基频光在腔内振荡，而让高次和频光通过第一二向色镜(15)输出。

4.根据权利要求1所述的高功率纳秒腔外五倍频激光器，其特征在于包括二倍频光路系统和三倍频光路系统，所述二倍频光路系统和三倍频光路系统的光程距离相等。

5.根据权利要求1所述的高功率纳秒腔外五倍频激光器，其特征在于包括二倍频光路系统和三倍频光路系统，在所述二倍频光路系统和三倍频光路系统中，二三倍频光在进入到五倍晶体的时候在空间上是重合。

6.根据权利要求1所述的高功率纳秒腔外五倍频激光器，其特征在于包括二倍频光路系统和三倍频光路系统，所述二倍频光路系统的特征在于，二倍频光通过第二二向色镜(21)后透射传播，通过第二反射镜(22)后改变传播方向，通过第二耦合镜(23)汇聚后，再通过第三二向色镜(24)反射进入到五倍频晶体(25)中，所述三倍频光路系统的特征在于三倍光通过第二二向色镜(21)后反射传播，通过第一反射镜(31)后改变传播方向后，改变传播方向后的三倍频光先通过波片(32)改变偏振状态后，再通过第一耦合镜(33)进行汇聚，最后通过第三二向色镜(24)后进入到五倍频晶体(25)中。

7.根据权利要求1所述的高功率纳秒腔外五倍频激光器，其特征在于包括五倍频晶体(25)，所述五倍频晶体(25)为深紫外和频晶体，晶体选择为BBO晶体或者CLBO晶体。

8.根据权利要求1所述的高功率纳秒腔外五倍频激光器，其特征在于包括第二二向色镜(21)和第三二向色镜(24)，所述第二二向色镜(21)为高通滤光片，用于二倍频光透过，三倍频光反射，所述第三二向色镜(24)为低通滤光片，用于二倍频光反射，三倍频光透射，用来进行光束的合束。