[实用新型]微纳米高精度进给机构

权利要求书

1.一种微纳米高精度进给机构，其特征在于，包括主轴箱(1)、伺服驱动机构、主轴组件，所述伺服驱动机构包括主机部、驱动连接于所述主机部输出端的丝杆(4)，所述主轴组件包括主轴(2)、安装于所述主轴下部的夹持器(3)；

所述主轴箱(1)固定设置，所述主机部与所述主轴箱(1)的顶部相固定，所述丝杆(4)贯穿所述主轴箱(1)并与所述主轴箱(1)通过丝杠支撑座转动相连；

所述主轴(2)贯穿所述主轴箱(1)并通过轴承与所述主轴箱(1)相连；

所述丝杆(4)上螺纹配合安装有第一连接块(5)，所述主轴(2)上通过进给轴承安装有第二连接块(6)，所述第一连接块(5)上靠近所述主轴(2)的一侧与所述第二连接块(6)靠近所述丝杆(4)的一侧上下设置，所述第一连接块(5)与所述第二连接块(6)上相对的侧部之间设置有导向组件(7)，且所述第一连接块(5)与所述第二连接块(6)上相对的侧部之间设置有压电陶瓷位移器(8)，所述压电陶瓷位移器(8)的顶部与底部分别与所述第一连接块(5)与所述第二连接块(6)相固定。

2.根据权利要求1所述的微纳米高精度进给机构，其特征在于，所述第一连接块(5)和所述第二连接块(6)均为Z字形块。

3.根据权利要求2所述的微纳米高精度进给机构，其特征在于，所述导向组件(7)包括固定安装于所述第一连接块(5)底部的导向轴座(701)、固定安装于所述第二连接块(6)顶部的衬套(702)以及配合安装于所述导向轴座(701)和所述衬套(702)内的导向轴，所述第一连接块(5)设置于所述第二连接块(6)的上方。

4.根据权利要求2所述的微纳米高精度进给机构，其特征在于，所述导向组件(7)包括固定安装于所述第二连接块(6)底部的导向轴座(701)、固定安装于所述第一连接块(5)顶部的衬套(702)以及配合安装于所述导向轴座(701)和所述衬套(702)内的导向轴，所述第二连接块(6)设置于所述第一连接块(5)的上方。

5.根据权利要求1所述的微纳米高精度进给机构，其特征在于，所述主机部包括伺服电机(9)、驱动安装于所述伺服电机(9)输出端的减速器(10)，所述减速器(10)的壳体通过电机架(11)固定安装于所述主轴箱(1)的顶部，所述丝杆(4)通过联轴器安装于所述减速器(10)的输出端。

6.根据权利要求1所述的微纳米高精度进给机构，其特征在于，所述主轴箱(1)内安装有进给传感器支架，所述进给传感器支架靠近所述主轴(2)设置，进给传感器安装于所述进给传感器支架上。