[实用新型]光罩拾取装置和光刻设备

说明书

本申请涉及一种光罩拾取装置及光刻设备。光罩拾取装置包括安装座体、转动主体、拾取组件及感测组件。安装座体包括基座、第一驱动件及升降座；转动主体包括转动座及第二驱动件，转动座绕第一方向上的轴线转动安装于升降座的顶部，第二驱动件用以驱动转动座转动至拾取位置；拾取组件包括接触件与拾取件，在转动座处于拾取位置时，接触件与盖板凸出于盒体的部分接触；感测组件包括控制器及安装于接触件的第一传感器；第一传感器用于获取接触件与盖板接触的接触信号，控制器根据接触信号控制拾取件拾取光罩，当未接收到接触信号或者接触信号出现异常时，控制器还可以控制第一驱动件与第二驱动件停止，防止光罩出现碰撞而损坏。

技术领域

本申请涉及光刻设备技术领域，特别是涉及光罩拾取装置及光刻设备。

背景技术

在光刻产品的生产中，光刻设备经常需要运输光罩。光刻设备一般是通过光罩拾取装置将光罩传输至设备内部，光罩拾取装置在运输光罩的过程中对光罩的拾取十分重要。光罩拾取装置在拾取光罩时需要先将光罩盒打开，再将光罩盒内存放的光罩拾取，而这需要光罩拾取装置位置精准。但当光刻设备出现意外或者故障时，可能会导致光罩拾取装置出现位置偏差，使得无法正常拾取光罩。因此光罩拾取装置一般会感测是否将光罩盒顺利打开，从而判断光罩拾取装置的位置是否正常，但现有的光罩拾取装置中一般采用微动开关的方式感应光罩盒是否打开，但是微动开关在长期使用后会出现明显的偏差，影响光罩拾取装置后续的使用。

实用新型内容

基于此，有必要针对光罩拾取装置感测光罩盒是否打开时容易出现偏差的问题，提供一种光罩拾取装置。

一种光罩拾取装置，用于拾取光罩盒内的光罩，所述光罩盒包括盒体和盖设于盒体的盖板，所述光罩拾取装置包括：

安装座体，包括基座、安装于所述基座的第一驱动件及沿第一方向伸缩设于所述基座的升降座，所述第一驱动件与所述升降座连接，以驱动所述升降座沿所述第一方向朝靠近所述盖板的底部的一侧移动；

转动主体，包括转动座及第二驱动件，所述转动座绕所述第一方向上的轴线转动安装于所述升降座的顶部，所述第二驱动件与所述转动座连接，以驱动所述转动座绕所述轴线转动至拾取位置；

拾取组件，包括分别安装于所述转动座的接触件与拾取件，在所述转动座处于所述拾取位置时，所述接触件与所述盖板凸出于所述盒体的部分接触且位于所述盖板的下方；

感测组件，包括控制器及安装于所述接触件的第一传感器，所述控制器分别与所述第一传感器、所述第一驱动件、所述第二驱动件及所述拾取件电性连接；

其中，所述第一传感器用于获取所述接触件与所述盖板凸出于所述盒体的部分彼此接触的接触信号，所述控制器用于根据所述接触信号控制所述拾取件拾取所述光罩盒内的光罩。

在其中一个实施例中，所述拾取件包括沿第二方向延伸设置的主体部及设于所述主体部上的多个吸气孔；

在所述转动座处于所述拾取位置，多个所述吸气孔朝向所述光罩盒的设置，以吸取所述光罩；

其中，所述第一方向与所述第二方向呈角度设置。

在其中一个实施例中，所述主体部沿所述第二方向可伸缩安装于所述转动座，所述驱动组件还包括与所述主体部连接的第三驱动件；

所述控制器与所述第三驱动件电连接，以使所述控制器能够根据接收到的所述接触信号控制所述第三驱动件驱动所述主体部朝向所述光罩盒伸缩活动。

在其中一个实施例中，所述拾取组件还包括设于所述拾取件一侧的抵接件，所述抵接件设有与多个所述吸气孔的朝向相同的接触面，所述接触面用于在所述光罩被多个所述吸气孔吸取时与所述光罩贴合。

在其中一个实施例中，所述感测组件还包括凹设于所述接触面且与所述控制器电性连接的第二传感器，所述第二传感器用于感测所述接触面与所述光罩彼此贴合的到位信号。