[实用新型]光罩拾取装置和光刻设备

权利要求书

1.一种光罩拾取装置，用于拾取光罩盒内的光罩，所述光罩盒包括盒体和盖设于盒体的盖板，其特征在于，所述光罩拾取装置包括：

安装座体，包括基座、安装于所述基座的第一驱动件及沿第一方向伸缩设于所述基座的升降座，所述第一驱动件与所述升降座连接，以驱动所述升降座沿所述第一方向朝靠近所述盖板的底部的一侧移动；

转动主体，包括转动座及第二驱动件，所述转动座绕所述第一方向上的轴线转动安装于所述升降座的顶部，所述第二驱动件与所述转动座连接，以驱动所述转动座绕所述轴线转动至拾取位置；

拾取组件，包括分别安装于所述转动座的接触件与拾取件，在所述转动座处于所述拾取位置时，所述接触件与所述盖板凸出于所述盒体的部分接触且位于所述盖板的下方；

感测组件，包括控制器及安装于所述接触件的第一传感器，所述控制器分别与所述第一传感器、所述第一驱动件、所述第二驱动件及所述拾取件电性连接；

其中，所述第一传感器用于获取所述接触件与所述盖板凸出于所述盒体的部分彼此接触的接触信号，所述控制器用于根据所述接触信号控制所述拾取件拾取所述光罩盒内的光罩。

2.如权利要求1所述的光罩拾取装置，其特征在于，所述拾取件包括沿第二方向延伸设置的主体部及设于所述主体部上的多个吸气孔；

在所述转动座处于所述拾取位置，多个所述吸气孔朝向所述光罩盒的设置，以吸取所述光罩；

其中，所述第一方向与所述第二方向呈角度设置。

3.如权利要求2所述的光罩拾取装置，其特征在于，所述主体部沿所述第二方向可伸缩安装于所述转动座，所述拾取组件还包括与所述主体部连接的第三驱动件；

所述控制器与所述第三驱动件电连接，以使所述控制器能够根据接收到的所述接触信号控制所述第三驱动件驱动所述主体部朝向所述光罩盒伸缩活动。

4.如权利要求2所述的光罩拾取装置，其特征在于，所述拾取组件还包括设于所述拾取件一侧的抵接件，所述抵接件设有与多个所述吸气孔的朝向相同的接触面，所述接触面用于在所述光罩被多个所述吸气孔吸取时与所述光罩贴合。

5.如权利要求4所述的光罩拾取装置，其特征在于，所述感测组件还包括凹设于所述接触面且与所述控制器电性连接的第二传感器，所述第二传感器用于感测所述接触面与所述光罩彼此贴合的到位信号。

6.如权利要求4所述的光罩拾取装置，其特征在于，所述拾取件相对间隔设有多个，所述抵接件设于其中两个相邻的个所述拾取件之间。

7.如权利要求1所述的光罩拾取装置，其特征在于，所述转动座上间隔布设有两个所述接触件；

在所述转动座处于所述拾取位置，两个所述接触件分别位于所述盒体的相对两侧，且均与所述盖板凸出于所述盒体的部分接触。

8.如权利要求7所述的光罩拾取装置，其特征在于，每一所述接触件上至少设有一个所述第一传感器。

9.如权利要求7所述的光罩拾取装置，其特征在于，所述拾取件设于两个所述接触件之间，且所述拾取件的顶面与所述接触件的顶面具有沿所述第一方向的预设间隔，以使得所述拾取件的顶面相较于所述接触件的顶面，更靠近所述基座。

10.一种光刻设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任意一项所述的光罩拾取装置。