[实用新型]一种多工位旋转接头有效

专利信息
申请号: 202221969893.7 申请日: 2022-07-28
公开(公告)号: CN217768337U 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: 周翔;丁晓华;陈洁;岳鑫;陈鸣 申请(专利权)人: 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 深圳市万商天勤知识产权事务所(普通合伙) 44279 代理人: 罗建平
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 多工位 旋转 接头
【权利要求书】:

1.一种多工位旋转接头,其特征在于,包括:

真空分配座A,真空分配座A的底部下表面连接N个气管接头a(1),真空分配座A上部外表面沿周向开设有N个导气槽(306),每个导气槽(306)之间被隔离壁(305)隔离,真空分配座A内部设置有N个气路通道,气路通道和气管接头a(1)一一对应,每个气管接头a(1)和对应的气路通道一端连通,N个气路通道的另一端与N个导气槽(306)一一对应连通;

真空分配座B,真空分配座B套设在真空分配座A外部,真空分配座A与真空分配座B可相对旋转,真空分配座B对应N个导气槽(306)的内壁沿周向设置有N个第六气路通道(701),第六气路通道(701)靠近真空分配座B内壁一侧截面大于气路通道靠近真空分配座A外表面一侧截面和隔离壁(305)截面,通过旋转真空分配座B,能够实现真空分配座A中的气路通道和第六气路通道(701)的对准或错位,每个第六气路通道(701)径向贯穿真空分配座B外壁且分别连通有气管接头b(805),在气路通道和第六气路通道(701)错位时,能保证第六气路通道(701)导气孔至少和一个导气槽(306)相通,通过气路通道、导气槽(306)、第六气路通道(701)形成气管接头a(1)和气管接头b(805)之间的连通气路,在气路通道和第六气路通道(701)对准时,第六气路通道(701)导气孔和一个气路通道相通,通过气路通道、第六气路通道(701)形成气管接头a(1)和气管接头b(805)之间的连通气路。

2.根据权利要求1所述的多工位旋转接头,其特征在于,所述导气槽(306)为圆弧槽。

3.根据权利要求1所述的多工位旋转接头,其特征在于,所述隔离壁(305)为圆弧形。

4.根据权利要求1所述的多工位旋转接头,其特征在于,所述气路通道和第六气路通道(701)截面为圆环形。

5.根据权利要求4所述的多工位旋转接头,其特征在于,所述气路通道截面直径和导气槽(306)高度相等。

6.根据权利要求1所述的多工位旋转接头,其特征在于,真空分配座A从上到下依次包括限位座(311)、主体(312)和固定底座(313),限位座(311)和主体(312)均为圆柱状,固定底座(313)为圆盘状,限位座(311)、主体(312)、固定底座(313)同轴设置,限位座(311)半径小于主体(312)半径,主体(312)半径小于固定底座(313)半径。

7.根据权利要求6所述的多工位旋转接头,其特征在于,固定底座下表面沿外圈周向均匀连接N个气管接头a(1),固定底座内部对应每个气管接头a(1)分别连通设置有竖直的第一气路通道(301),第一气路通道(301)的末端分别连通有第二气路通道(302),第二气路通道(302)水平设置且向固定底座轴线延伸,其末端连通有第三气路通道(303),第三气路通道(303)竖直设置且向上延伸至主体(312)上部,其末端连通水平设置的N个第四气路通道(304),N个第四气路通道(304)末端与N个导气槽(306)一一连通。

8.根据权利要求6所述的多工位旋转接头,其特征在于,真空分配座B从上到下依次包括第二限位座(711)和第二主体(712),第二限位座(711)为圆盘状,第二主体(712)为圆柱状,第二主体(712)内表面沿周向分布有N条第六气路通道,第二主体(712)内部为空腔结构,空腔结构与主体(312)相适配。

9.根据权利要求1所述的多工位旋转接头,其特征在于,真空分配座B位于第六气路通道(701)上侧的内壁开设有上凹槽,上凹槽内设置有O型圈b(5),真空分配座B位于第六气路通道(701)下侧的内壁开设有下凹槽,下凹槽内设置有O型圈a(4)。

10.根据权利要求8所述的多工位旋转接头,其特征在于,第二限位座(711)和限位座(311)之间设置有轴承b(6),第二主体(712)和主体(312)之间设置有轴承a(2)。

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