[实用新型]一种封装结构和电子设备有效

专利信息
申请号: 202221960159.4 申请日: 2022-07-27
公开(公告)号: CN218447868U 公开(公告)日: 2023-02-03
发明(设计)人: 刘玉栋;闫文明 申请(专利权)人: 青岛歌尔微电子研究院有限公司
主分类号: H01L23/00 分类号: H01L23/00;H01L23/10;B81B7/00;B81B7/02
代理公司: 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 代理人: 吴秀娥
地址: 266061 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 封装 结构 电子设备
【权利要求书】:

1.一种封装结构,其特征在于,包括:

基板(1)和芯片(2),所述芯片(2)设置在所述基板(1)上;

盖板(3),所述盖板(3)盖设在所述基板(1)上以形成容纳腔(4),所述芯片(2)位于所述容纳腔(4)中;

封胶件(5),所述封胶件(5)设置于所述容纳腔(4)中并对所述芯片(2)形成包覆。

2.根据权利要求1所述的一种封装结构,其特征在于,所述封胶件(5)与所述芯片(2)的高度差的范围为400μm至600μm。

3.根据权利要求1所述的一种封装结构,其特征在于,所述封胶件(5)为橡胶件、硅胶件或者树脂件。

4.根据权利要求1所述的一种封装结构,其特征在于,所述基板(1)为陶瓷板或者CVD沉积板,所述盖板(3)为金属板。

5.根据权利要求1所述的一种封装结构,其特征在于,所述基板(1)包括第一基板(11)和第二基板(12),所述芯片(2)包括第一芯片(21)和第二芯片(22);

所述容纳腔(4)包括第一容纳腔(41)和第二容纳腔(42),所述第一基板(11)和所述第二基板(12)形成所述第一容纳腔(41),所述第二基板(12)和所述盖板(3)形成所述第二容纳腔(42),所述第一芯片(21)位于所述第一容纳腔(41)中,所述第二芯片(22)位于所述第二容纳腔(42)中;

所述封胶件(5)包括第一封胶件(51)和第二封胶件(52),所述第一封胶件(51)设置于所述第一容纳腔(41)中并对所述第一芯片(21)形成包覆,所述第二封胶件(52)设置于所述第二容纳腔(42)中并对所述第二芯片(22)形成包覆。

6.根据权利要求5所述的一种封装结构,其特征在于,所述第一封胶件(51)与所述第一芯片(21)的高度差的范围为450μm至550μm。

7.根据权利要求5所述的一种封装结构,其特征在于,所述第二封胶件(52)与所述第二芯片(22)的高度差的范围为450μm至550μm。

8.根据权利要求5所述的一种封装结构,其特征在于,所述第一封胶件(51)为凝胶件,所述凝胶件用于将压力传递至所述第一芯片(21)上。

9.根据权利要求5所述的一种封装结构,其特征在于,所述第一封胶件(51)为橡胶件、硅胶件或者树脂件,所述第二封胶件(52)为橡胶件、硅胶件、树脂件或者固态胶件,所述第一封胶件(51)和所述第二封胶件(52)不同。

10.根据权利要求5所述的一种封装结构,其特征在于,所述第一芯片(21)为MEMS芯片,所述第一基板(11)上设置有开口(111),所述开口(111)与所述MEMS芯片相对,所述开口(111)用于将所述MEMS芯片的衬底或者背腔与外界连通以形成差压感测。

11.根据权利要求1所述的一种封装结构,其特征在于,所述盖板(3)远离所述基板(1)的一侧设置有密封件。

12.一种电子设备,其特征在于,包括权利要求1至11中任意一项所述的封装结构。

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