[实用新型]一种高精度研磨检测系统及研磨设备

权利要求书

1.一种高精度研磨检测系统，其特征在于，包括检测部，所述检测部包括：

外壳；

测量探头，安装在外壳内部，被装配为沿着外壳内外往复移动；

通孔，开设于所述外壳上，且通孔的位置、尺寸与所述测量探头对应，以使测量探头的一端往复移动时可穿过通孔；

吹气管路，安装在保护外壳的外侧，用于向外壳内部吹气，使外壳内部为正压。

2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，还包括：

移动导轨，安装在研磨加工台上；

承载基座，可滑动地与移动导轨连接，且外壳安装在承载基座上。

3.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，还包括：

警报模块，与测量探头连接，被配置为在检测结果和预设值不匹配时发出警报。

4.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，还包括：

操作部，用于输入预设值。

5.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，还包括：

气动管路，与所述测量探头连接，驱动所述测量探头沿着通孔的方向往复移动。

6.一种研磨设备，其特征在于，包括权利要求1-5中任一项所述的检测系统；以及

玻璃输送装置；

两个研磨部，分别安装在玻璃输送装置的两侧，所述研磨部的两端均设置有检测部。

7.根据权利要求6所述的研磨设备，其特征在于，所述研磨部包括：

多个磨头，安装在机头上，沿与玻璃输送装置的输送路径平行的平面设置，多个所述检测部分别位于首位和末位的所述磨头上。

8.根据权利要求7所述的研磨设备，其特征在于，所述研磨部还包括：

多个第一驱动件，分别与多个磨头连接，其中，每个所述第一驱动件用于驱动一个所述磨头沿与所述玻璃输送装置的输送路径垂直的轨迹移动。

9.根据权利要求7所述的研磨设备，其特征在于，还包括：

第二驱动件，与所述机头连接，用于驱动机头沿与玻璃输送装置的输送路径平行的轨迹移动。

10.根据权利要求6所述的研磨设备，其特征在于，所述玻璃输送装置包括：

承载台面，用于在研磨过程中支撑玻璃基板。