[实用新型]一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置

权利要求书

1.一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置，其特征在于：它包括：

衬底固定机构，其包括衬底固定架，该衬底固定架设有上下贯穿的衬底容纳腔，该衬底容纳腔用于放置贴有多片金刚石片的衬底；

图像检测机构，其包括第一相机和第二相机，所述第一相机和第二相机分别位于衬底容纳腔的正上方和正下方，所述第一相机对所述衬底进行拍摄以确定需要测厚的位置，所述第二相机对所述衬底进行拍摄以识别所述衬底的缺陷及气泡；

厚度检测机构，其包括位移传动机构、第一激光位移传感器和第二激光位移传感器，所述第一激光位移传感器和第二激光位移传感器均安装在位移传动机构上且分别位于衬底容纳腔的上方和下方，该位移传动机构可带动第一激光位移传感器和第二激光位移传感器同步移动。

2.根据权利要求1所述的一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置，其特征在于：所述衬底容纳腔之腔壁设有一台阶面，所述衬底四周置于该台阶面上。

3.根据权利要求2所述的一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置，其特征在于：所述衬底固定机构还包括调节板，该调节板四周可置于所述台阶面上，且该调节板设有上下贯穿的衬底容纳分腔。

4.根据权利要求1所述的一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置，其特征在于：所述图像检测机构还包括环形灯，所述环形灯位于衬底容置腔上方且与衬底容置腔同心布置，该环形灯的出光面朝向衬底容置腔。

5.根据权利要求4所述的一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置，其特征在于：所述图像检测机构还包括相机支杆、第一横架和第二横架，所述第一横架和第二横架均固接在相机支杆上且二者上下间隔布置，所述第一相机和第二相机分别固接在第一横架和第二横架上。

6.根据权利要求1所述的一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置，其特征在于：所述位移传动机构包括第一导轨、第一导轨架、第一驱动电机、第二导轨、第二导轨架和第二驱动电机，所述第一导轨向前后方向延伸，所述第一导轨架滑动装接在第一导轨上且与第一驱动电机相传动连接；所述第二导轨固接在第一导轨架上且其向左右方向延伸，所述第二导轨架滑动装接在第二导轨上且与第二驱动电机传动连接，所述第一激光位移传感器和第二激光位移传感器均安装在第二导轨架上。

7.根据权利要求1所述的一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置，其特征在于：还包括衬底装卸机构，该衬底装卸机构包括旋转电缸、摆臂、顶出气缸、顶出座、环形橡胶垫和可通入负压的快速连接阀，所述摆臂连接在旋转电缸上且可水平转动，所述顶出气缸安装在摆臂上，所述顶出座连接顶出气缸且，该顶出座可上下移动并能向上伸出衬底容置腔，所述环形橡胶垫固接在顶出座上且二者之间围成负压腔，所述快速连接阀安装在顶出座上且与负压腔相连通。

8.根据权利要求1所述的一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置，其特征在于：还包括显示屏，该显示屏与图像检测机构、厚度检测机构均相连接。