[实用新型]四氯化硅提纯装置

权利要求书

1.一种四氯化硅提纯装置，其特征在于，包括依次连接的固体除杂箱(100)、刮板蒸发器(200)、提纯塔(300)和回收罐(400)；

所述固体除杂箱(100)上设置有进料口(1011)和第一出液口(102)，用于过滤从所述进料口(1011)进入的粗制四氯化硅中的固体杂质；

所述刮板蒸发器(200)上设置有第一进液口(201)和排气口(202)，所述第一进液口(201)连接有通入所述刮板蒸发器(200)内部的第一输液管道(500)并通过所述第一输液管道(500)与所述第一出液口(102)连通，所述刮板蒸发器(200)用于对从所述第一进液口(201)进入其内的过滤固体杂质后的四氯化硅进行蒸发；所述刮板蒸发器(200)上设置有用于调节所述刮板蒸发器(200)内的蒸发温度的温度调节组件；

所述提纯塔(300)上设置有进气口(3011)和第二出液口(3022)，所述进气口(3011)通过输气管道(600)与所述排气口(202)连通，所述提纯塔(300)用于从蒸发后的四氯化硅中提纯四氯化硅；

所述回收罐(400)上设置有第二进液口(401)，所述第二进液口(401)通过第二输液管道(800)与所述第二出液口(3022)连通，所述回收罐(400)用于对提纯后的四氯化硅进行回收。

2.根据权利要求1所述的四氯化硅提纯装置，其特征在于，所述固体除杂箱(100)的顶部铰接有盖板(101)，所述进料口(1011)设置在所述盖板(101)上，所述第一出液口(102)设置在所述固体除杂箱(100)的底部的侧壁上，所述第一输液管道(500)上设置有第一压力泵(501)；

所述固体除杂箱(100)的内底部设置支撑架(104)，所述支撑架(104)上设置有过滤桶(103)，所述过滤桶(103)的周壁上均匀设置有多个过滤孔(1031)，所述过滤桶(103)用于对从所述进料口(1011)进入所述固体除杂箱(100)中的粗制四氯化硅中的固体杂质进行过滤。

3.根据权利要求2所述的四氯化硅提纯装置，其特征在于，所述支撑架(104)包括一个固定环(1042)、三个竖直支撑杆(1041)和三个横向连接杆(1043)；

每相邻两个竖直支撑杆(1041)之间设置有一个横向连接杆(1043)，所述固定环(1042)设置在三个所述竖直支撑杆(1041)的内部，所述过滤桶(103)套设在所述固定环(1042)上。

4.根据权利要求1所述的四氯化硅提纯装置，其特征在于，所述温度调节组件包括控制器(204)和温度传感器(203)；

所述控制器(204)设置在所述刮板蒸发器(200)的外侧壁上，所述温度传感器(203)设置在所述刮板蒸发器(200)的内壁上，所述控制器(204)与所述温度传感器(203)电连接；

所述刮板蒸发器(200)上设置有电加热夹套(205)，所述控制器(204)与所述电加热夹套(205)电连接。

5.根据权利要求1所述的四氯化硅提纯装置，其特征在于，所述第一输液管道(500)远离所述固体除杂箱(100)的一端贯穿所述第一进液口(201)且伸入所述刮板蒸发器(200)内，位于所述刮板蒸发器(200)内的所述第一输液管道(500)的一端设置有挡板(502)，所述挡板(502)上均匀开设有多个分流孔(5021)，所述第一输液管道(500)在位于所述刮板蒸发器(200)内部的管身上竖直向下连通有多个喷淋管(503)，每个所述喷淋管(503)的底端设置有一个喷淋头(5031)。