[实用新型]一种防护结构、酸洗设备及密封部件

权利要求书

1.一种防护结构，包括：

第一防护结构本体（100）、第二腐蚀源（200）、第三排气通道（300）、第四运动部件（400）、第五工作腔（500）、第六吹净部件（600）；其中，

所述第五工作腔（500）包括第一子腔/槽体（501）、第二子腔/槽体（502）、第三子腔/槽体（503）直至第N子腔/槽体（50N），N为自然数；

所述第二腐蚀源（200）置于所述第五工作腔（500）内部或所述第二腐蚀源（200）容器与所述第五工作腔（500）相接且不存在相对运动；

所述第三排气通道（300）与所述第一防护结构本体（100）相接，所述第三排气通道（300）与气体收集装置或相关设备相接，所述第三排气通道（300）将所述第一防护结构本体（100）内部区域与所述气体收集装置或相关设备的通风区域联通；

所述第四运动部件（400）带动工件和/或工艺设备在所述第一防护结构本体（100）内部改变静置位置；

所述第四运动部件（400）与所述第二腐蚀源（200）经所述第一防护结构本体（100）内部的气态介质相互联通或接触；

所述第六吹净部件（600）由第七气源（700）提供第八气体（800），所述第八气体（800）在所述第六吹净部件（600）出气口的第八压力大于预设值或所述第八压力大于所述第五工作腔（500）指定位置的压力；

所述第四运动部件（400）待防护区域与所述第六吹净部件（600）出气口相对设置或固接。

2.如权利要求1的所述防护结构，其中：

所述第一子腔/槽体（501）放置有第一水槽（511）、第二工艺槽（512）、第三工艺槽（513）；工件在所述第四运动部件（400）的握持或抓取下按照工艺次序在所述第五工作腔（500）内部改变静置位置；所述第一水槽（511）、所述第二工艺槽（512）、所述第三工艺槽（513）根据工艺要求在所述第五工作腔（500）内放置在预设的位置。

3.如权利要求2的所述防护结构，其中：

所述第二工艺槽（512）为快排冲洗QDR槽，所述第三工艺槽（513）为干燥槽。

4.如权利要求2或3的所述防护结构，其中：

所述第一水槽（511）中放置有王水、硝酸、氢氟酸至少之一。

5.如权利要求4的所述防护结构，其中：

所述第一水槽（511）包括第一子水槽（521）、第二子水槽（522）直至第M子水槽（52M），所述第一子水槽（521）、所述第二子水槽（522）直至所述第M子水槽（52M）放置有王水、硝酸、氢氟酸至少之一；所述第一子水槽（521）、所述第二子水槽（522）直至所述第M子水槽（52M）包括至少一活动连接或可拆卸连接的密封盖，包括所述密封盖的所述第一子水槽（521）、所述第二子水槽（522）直至所述第M子水槽（52M）气密。

6.如权利要求1、2、3或5的任一所述防护结构，其中：

所述第六吹净部件（600）包括1/4英寸可熔性聚四氟乙烯PFA管路，所述PFA管路第一端与堵头密封连接，所述管路每间隔1厘米设有直径0.2至0.3毫米圆孔1个；

所述第八气体（800）采用洁净干燥气体CDA。

7.如权利要求1、2、3或5的任一所述防护结构，还包括：

第九密封部件（900）；所述第九密封部件（900）由弹性材料制作，所述第九密封部件（900）填充所述第一防护结构本体（100）指定活动连接部件之间的间隙（111、112、113、114、115）。

8.如权利要求7的所述防护结构，其中：

所述弹性材料包括特氟龙；所述第九密封部件（900）包括特氟龙密封条；所述第一防护结构本体（100）包括机台结构（102）、门板结构（103）；所述特氟龙密封条置于所述机台结构（102）与所述门板结构（103）的盖板之间，所述特氟龙密封条的宽度为2厘米。