[实用新型]基板运输模组及固晶机

说明书

本申请涉及固晶设备技术领域，提供一种基板运输模组及固晶机，基板运输模组包括机架、基板供给机构、上料夹持传送机构、载移机构、下料夹持传送机构、回收接驳机构以及基板收纳机构，上料夹持传送机构用于夹持固定基板，并将基板从上料夹持传送机构的一侧移送至上料夹持传送机构的另一侧；载移机构用于将基板移送至固晶工位；下料夹持传送机构用于夹持固定基板并移送基板；回收接驳机构用于将基板从回收接驳机构的一侧移送至回收接驳机构的另一侧；固晶机包括基板运输模组。本申请提供的基板运输模组及固晶机，基板不易抖动和晃动，运送稳定性较高，大幅度缩短基板的运送路径长度，缩短移送基板的时间，运行速度较快，提高了固晶效率和精度。

技术领域

本申请属于固晶设备技术领域，更具体地说，是涉及一种基板运输模组及固晶机。

背景技术

固晶一般是通过固晶摆臂将晶圆上的晶片从供晶位吸取，再移动至基板上的固晶位，以将晶片精准安装在基板上，以实现固晶。晶圆一般安装在晶环中，通过晶环支撑晶圆。晶圆上晶片被取出后，形成空晶环。为便于描述，将存储有晶圆的晶环称为满晶环。晶片具有正面与背面，晶片的背面一般设有电极，以与基板相连，而晶圆上晶片的正面贴于蓝膜上，基板一般为PCB板。

一篇申请号为202110522689.4的中国发明专利公开了一种固晶设备，包括机架、支架供料组件、支架移载组件，支架供料组件可将支架移送至支架移载组件上，支架移载组件可将支架移送至固晶位，还包括用于接收支架移载组件移送来的并固晶完毕后的支架，并将该支架移送至下一工位的下料组件，下料组件安装于机架上并与支架移载组件接驳。其中支架供料组件中，上料电机通过驱动相应主动轮转动，进而可带动两个传送带同步转动，从而可将支架移送至支架移载组件上；其中下料组件中，由支架移载组件移送来的支架置于两个皮带上，通过下料电机驱动多个转动轮转动，可带动两个皮带同步转动，从而可将支架移送至下一工位，支架即基板。

针对上述中的相关技术，存在以下缺陷：

基板在移送至支架移载组件的过程中以及支架移载组件上基板被移送出的过程中，基板被移送的距离比较远，而且基板主要为皮带通过摩擦力方式的进行传送，在皮带较长且本身就是柔性结构前提下，基板在长距离移送时难免发生抖动或者晃动，稳定性不高，故而有待改进。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种基板运输模组及固晶机，以解决以下技术问题：常见固晶设备在运行过程中，基板在长距离移送时难免发生抖动或者晃动，稳定性不高。

为实现上述目的，第一方面，本申请采用的技术方案是：

提供一种基板运输模组，包括：

基板供给机构，所述基板供给机构设置有基板输出口；

上料夹持传送机构，位于所述基板供给机构靠近所述基板输出口的一侧，用于夹持固定并传送基板；

载移机构，位于所述上料夹持传送机构远离所述基板供给机构的一侧，用于将基板移送至固晶工位；

下料夹持传送机构，位于所述载移机构远离所述上料夹持传送机构的一侧，用于夹持固定基板并移送基板；

回收接驳机构，位于所述下料夹持传送机构的一侧，用于将基板从所述回收接驳机构的一侧移送至所述回收接驳机构的另一侧；以及，

基板收纳机构，所述基板收纳机构靠近所述回收接驳机构的侧部设置有基板输入口。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述基板供给机构包括：

供给支撑座；

供给平台，竖向滑动装配于所述供给支撑座上；

第一供给驱动单元，安装于所述供给支撑座上且连接于所述供给平台，用于驱使所述供给平台间歇式升降；