[实用新型]基板运输模组及固晶机

权利要求书

1.一种基板运输模组，其特征在于，包括：

基板供给机构(102)，所述基板供给机构(102)设置有基板输出口；

上料夹持传送机构(103)，位于所述基板供给机构(102)靠近所述基板输出口的一侧，用于夹持固定并传送基板；

载移机构(104)，位于所述上料夹持传送机构(103)远离所述基板供给机构(102)的一侧，用于将基板移送至固晶工位；

下料夹持传送机构(105)，位于所述载移机构(104)远离所述上料夹持传送机构(103)的一侧，用于夹持固定基板并移送基板；

回收接驳机构(106)，位于所述下料夹持传送机构(105)的一侧，用于将基板从所述回收接驳机构(106)的一侧移送至所述回收接驳机构(106)的另一侧；以及，

基板收纳机构(107)，所述基板收纳机构(107)靠近所述回收接驳机构(106)的侧部设置有基板输入口。

2.如权利要求1所述的基板运输模组，其特征在于，所述基板供给机构(102)包括：

供给支撑座(21)；

供给平台(22)，竖向滑动装配于所述供给支撑座(21)上；

第一供给驱动单元(23)，安装于所述供给支撑座(21)上且连接于所述供给平台(22)，用于驱使所述供给平台(22)间歇式升降；

供给储料盒(24)，所述供给储料盒(24)内设置有多组上下间隔布置且供基板两侧插接的插槽，所述插槽沿第一方向布置，所述供给储料盒(24)沿第二方向滑动装配于所述供给平台(22)上，所述第二方向垂直于所述第一方向；

第二供给驱动单元(25)，安装于所述供给平台(22)上且连接于所述供给储料盒(24)，用于驱使所述供给储料盒(24)沿第二方向来回滑动；以及，

供给推料单元(26)，安装于所述供给平台(22)远离基板输出口的侧部，用于从所述供给储料盒(24)内沿第一方向将基板逐块推出。

3.如权利要求1所述的基板运输模组，其特征在于，所述上料夹持传送机构(103)包括：

上料传送基座(31)，所述上料传送基座(31)的两端部分别设置有接驳入口和接驳出口；

上料夹持装置(32)，沿第一方向滑动装配于所述上料传送基座(31)上，用于夹持固定基板；

上料驱动装置(33)，安装于所述上料传送基座(31)上且连接于所述上料夹持装置(32)，用于驱使所述上料夹持装置(32)沿第一方向来回滑动；

两组隔挡装置(34)，沿第一方向安装于所述上料传送基座(31)上，所述隔挡装置(34)沿第一方向布置，两组所述隔挡装置(34)位于所述上料夹持装置(32)的两侧布置；以及，

辅助传送装置(35)，安装于所述隔挡装置(34)上，用于接触所述上料夹持装置(32)夹持基板的侧部，并沿第一方向辅助输送基板。

4.如权利要求3所述的基板运输模组，其特征在于，所述上料夹持装置(32)包括：

上料滑动基座(321)，滑动装配于所述上料传送基座(31)上；

上料夹持单元(322)，沿竖直方向滑动装配于上料滑动基座(321)上，用于夹持固定基板；以及，

上料升降驱动单元(323)，安装于所述上料滑动基座(321)上且连接于所述上料夹持单元(322)，用于驱使所述上料夹持单元(322)升降。

5.如权利要求1所述的基板运输模组，其特征在于，所述载移机构(104)包括：

载移支撑座(41)；

载移平台(42)，沿第一方向滑动装配于所述载移支撑座(41)上；

第一载移驱动单元(43)，安装于所述载移支撑座(41)上且连接于所述载移平台(42)，用于驱使所述载移平台(42)沿第一方向来回滑动；

载移夹持座(44)，沿第二方向滑动装配于所述载移平台(42)上，用于夹持固定基板；以及，

第二载移驱动单元(45)，安装于所述载移平台(42)上且连接于所述载移夹持座(44)，用于驱使所述载移夹持座(44)沿第二方向来回滑动。