[实用新型]一种带有清洁功能的真空手臂

说明书

本实用新型提供一种带有清洁功能的真空手臂，其中手臂板为一端直臂、另一端带有两个延伸臂的平板，延伸臂下端设有吸附层，延伸臂上贯穿设有操作孔，操作孔穿入设有吸嘴，直臂上端设有正压电磁阀、负压电磁阀，两者分别连于四通管的两个输入端，四通管的两个输出端分别连于两个吸嘴。将吸嘴作为吸附孔，将吸附层作为吸附面，在针对手臂板延伸臂实施晶圆的多次吸附作业后，通过更换电磁阀气路对吸嘴内的尘埃堵塞进行一次性吹气清除，下端面吸附层的聚四氟乙烯材质提供防粘性及润滑性，以避免灰尘粘附并为晶圆提供光滑平整的贴合面，以此对真空手臂吸盘孔及吸盘面的堵塞、污染实施简易高效的清洁操作，避免生产损失并保障晶圆生产工艺的正常实施。

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，具体涉及一种带有清洁功能的真空手臂。

背景技术

现有的半导体行业，晶圆片大多需要真空手臂取放片，目前行业内取放片都以直接接触真空吸附片源为主，为确保晶圆形态平整，真空手臂的吸盘孔与吸盘面需保持齐平，从而与晶圆形成良好的贴合吸附效果。

然而，随着作业工况的粉尘弥漫，真空手臂的吸盘面表面易粘附灰尘污染，如不能及时清理则会对吸附晶圆表面的平整形态造成破坏，影响产品品质；同时，随着晶圆拾取作业的多次实施，真空手臂的吸盘孔内部容易吸入尘埃颗粒形成堵塞，引起吸附力下降，导致取片过程因吸附力不足而令晶圆摔碎，造成生产损失并阻碍晶圆生产工艺的正常实施。而每次针对上述部位的清洁操作较为繁琐，因此，需要一种新的技术方案加以解决。

实用新型内容

针对上述现有技术中的不足，本实用新型提供了一种带有清洁功能的真空手臂，以此对真空手臂吸盘孔及吸盘面的堵塞、污染实施简易高效的清洁操作，避免生产损失并保障晶圆生产工艺的正常实施。

本实用新型通过以下技术方案实施：一种带有清洁功能的真空手臂，包括手臂板，其中，所述手臂板为一端直臂、另一端带有两个延伸臂的Y形平板，所述延伸臂下端面贴附设有聚四氟乙烯材质的吸附层，每个所述延伸臂上都贯穿设有操作孔，每个所述操作孔都穿入设有吸嘴，所述吸嘴与所述吸附层的下端面齐平；所述直臂上端面设有正压电磁阀、负压电磁阀，所述正压电磁阀、所述负压电磁阀的输入端分别通过气管连接于压缩泵、真空泵，所述正压电磁阀、所述负压电磁阀的输出端分别通过气管连接于四通管的两个输入端，所述四通管的两个输出端分别通过气管连接于两个所述吸嘴。

进一步的，所述负压电磁阀与所述真空泵之间的连接管路设有真空计。

进一步的，二个所述吸嘴下方吸附设有晶圆，二个所述吸嘴的连接线与所述晶圆中心线重合。

进一步的，所述吸附层呈U形。

本实用新型的有益效果是：本装置通过手臂板上分别设置正压电磁阀、负压电磁阀形成的二种回路，将吸嘴作为吸附孔，将吸附层作为贴合吸附面，在针对手臂板延伸臂实施晶圆的多次吸附作业后，可通过更换电磁阀气路对吸嘴内的尘埃堵塞进行一次性吹气清除，同时下端面吸附层的聚四氟乙烯材质提供防粘性及润滑性，以避免灰尘粘附并为晶圆提供光滑平整的贴合面，以此对真空手臂吸盘孔及吸盘面的堵塞、污染实施简易高效的清洁操作，避免生产损失并保障晶圆生产工艺的正常实施。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的结构俯视图；

图2是本实用新型一实施例的结构仰视图；

图3是本实用新型一实施例的结构管路连接图；

图4是本实用新型一实施例的结构侧视图；

图5是本实用新型一实施例的作业状态图。

图中：10-手臂板、11-操作孔、12-吸附层、21-正压电磁阀、22-负压电磁阀、30-四通管、40-气管、41-压缩泵、42-真空泵、43-真空计、50-吸嘴、60-晶圆。

具体实施方式