[实用新型]一种带有清洁功能的真空手臂

权利要求书

1.一种带有清洁功能的真空手臂，包括手臂板，其特征在于：所述手臂板一端设有直臂，另一端设有两个延伸臂，所述延伸臂下端面贴附设有吸附层，所述延伸臂上贯穿设有多个操作孔，每个所述操作孔上设有吸嘴，所述直臂上端面设有正压电磁阀、负压电磁阀，所述正压电磁阀、所述负压电磁阀的输入端分别通过气管连接于压缩泵、真空泵，所述正压电磁阀、所述负压电磁阀的输出端分别通过气管连接于四通管的两个输入端，所述四通管的两个输出端分别通过气管连接于两个所述吸嘴。

2.如权利要求1所述的带有清洁功能的真空手臂，其特征在于：所述手臂板为Y形平板。

3.如权利要求1所述的带有清洁功能的真空手臂，其特征在于：所述吸附层采用聚四氟乙烯材质制成。

4.如权利要求1所述的带有清洁功能的真空手臂，其特征在于：所述吸嘴与所述吸附层的下端面齐平。

5.如权利要求1所述的带有清洁功能的真空手臂，其特征在于：所述负压电磁阀与所述真空泵之间的连接管路设有真空计。

6.如权利要求1所述的带有清洁功能的真空手臂，其特征在于：二个所述吸嘴下方吸附设有晶圆，二个所述吸嘴的连接线与所述晶圆中心线重合。

7.如权利要求1所述的带有清洁功能的真空手臂，其特征在于：所述吸附层呈U形。