[实用新型]玻璃基板和掩膜版组装设备

说明书

本实用新型公开一种玻璃基板和掩膜版组装设备，包括具有真空腔室的设备本体，真空腔室内设有用于将玻璃基板输送至装载位置辊轮组件、用于检测玻璃基板与掩膜版是否对位的视觉检测组件、定位组件和校准组件，定位组件位于辊轮组件沿玻璃基板输送方向的前侧，能将玻璃基板定位在装载位置，校准组件设在辊轮组件远离定位组件的一侧，校准组件包括推板和与推板连接的驱动件，视觉检测组件和驱动件均与控制器连接，当玻璃基板与掩膜版错位时，推板推动玻璃基板移动，使玻璃基板与掩膜版对位。本实用新型的玻璃基板和掩膜版组装设备在玻璃基板定位后，当玻璃基板与掩膜版错位，校准组件能够自动调节玻璃基板的偏移量，使玻璃基板与掩膜版准确对位。

技术领域

本实用新型涉及显示装置制造技术领域，尤其涉及一种玻璃基板和掩膜版组装设备。

背景技术

近年来，有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示器件已经成为国内外非常热门的新兴平板显示器产品，OLED显示器件具有自发光、广视角、反应速度快、广色域、低工作电压、面板薄、易于做成柔性面板、工作温度范围广等优势。

在进行蒸镀时，OLED显示器件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜，薄膜的质量关系到OLED显示器件的质量和寿命。在高真空腔室中设有多个放置有机材料的坩埚，加热坩埚蒸镀有机材料，并利用石英晶体振荡器来控制膜厚。玻璃基板放置在托架上，其下面放置的金属掩膜版(Mask)控制蒸镀图案。为了能够在玻璃基板上得到所需蒸镀图案，一般需要使玻璃基板与金属掩膜版对准，同时为了防止玻璃基板与金属掩膜对位不准，还需要进行对位补偿操作。

参照图1和图2所示，现有的玻璃基板和掩膜版组装设备包括真空腔室1′，被输送至真空腔室1′内的玻璃基板2′和掩膜版3′进行对位，通过CCD摄像机4′和挡板5′实现对位操作，CCD摄像机4′用于检测玻璃基板2′与掩膜版3′是否对位，挡板5′用于阻挡玻璃基板2′输送，使玻璃基板′定位在掩膜版3′的上方进行对位。现有技术存在以下缺陷：玻璃基板2′在输送过程中角度可能发生偏转，当挡板5′阻挡玻璃基板2′后，玻璃基板2′和掩膜版3′发生错位，影响玻璃基板2′和掩膜版3′的组装。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种玻璃基板和掩膜版组装设备，其结构简单，能够使错位的玻璃基板矫正，提高玻璃基板与掩膜版的对位和组装效率。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种玻璃基板和掩膜版组装设备，包括设备本体，所述设备本体具有真空腔室，所述真空腔室内设置有辊轮组件、视觉检测组件和定位组件，所述辊轮组件用于将所述玻璃基板输送至装载位置，所述掩膜版位于所述装载位置的下方，所述视觉检测组件位于所述装载位置的上方，用于检测所述玻璃基板与所述掩膜版是否对位，所述定位组件位于所述辊轮组件沿所述玻璃基板输送方向的前侧，用于将所述玻璃基板定位在所述装载位置，所述真空腔室内还设置有校准组件，所述校准组件活动设置在所述辊轮组件远离所述定位组件的一侧，所述校准组件包括推板和与所述推板连接的驱动件，所述视觉检测组件和所述驱动件均与控制器连接，当所述玻璃基板与所述掩膜版错位时，所述推板推动所述玻璃基板移动，使所述玻璃基板与所述掩膜版对位。

作为玻璃基板和掩膜版组装设备的一种优选方案，所述校准组件位于所述辊轮组件的上方，所述驱动件包括第一气缸组件和第二气缸组件，所述第一气缸组件与所述推板连接，用于驱动所述推板沿所述X轴方向移动，所述X轴方向为所述玻璃基板的输送方向，所述第二气缸组件与所述第一气缸组件连接，用于驱动所述第一气缸组件和所述推板沿Z轴方向移动，所述X轴方向与所述Z轴方向垂直。