[实用新型]玻璃基板和掩膜版组装设备

权利要求书

1.一种玻璃基板和掩膜版组装设备，包括设备本体，所述设备本体具有真空腔室，所述真空腔室内设置有辊轮组件、视觉检测组件和定位组件，所述辊轮组件用于将所述玻璃基板输送至装载位置，所述掩膜版位于所述装载位置的下方，所述视觉检测组件位于所述装载位置的上方，用于检测所述玻璃基板与所述掩膜版是否对位，所述定位组件位于所述辊轮组件沿所述玻璃基板输送方向的前侧，用于将所述玻璃基板定位在所述装载位置，其特征在于，所述真空腔室内还设置有校准组件，所述校准组件活动设置在所述辊轮组件远离所述定位组件的一侧，所述校准组件包括推板和与所述推板连接的驱动件，所述视觉检测组件和所述驱动件均与控制器连接，当所述玻璃基板与所述掩膜版错位时，所述推板推动所述玻璃基板移动，使所述玻璃基板与所述掩膜版对位。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述校准组件位于所述辊轮组件的上方，所述驱动件包括第一气缸组件和第二气缸组件，所述第一气缸组件与所述推板连接，用于驱动所述推板沿X轴方向移动，所述X轴方向为所述玻璃基板的输送方向，所述第二气缸组件与所述第一气缸组件连接，用于驱动所述第一气缸组件和所述推板沿Z轴方向移动，所述X轴方向与所述Z轴方向垂直。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述第一气缸组件包括气缸本体和固定座，所述固定座包括呈夹角设置的第一板和第二板，所述第一板与所述气缸本体通过活塞杆连接，所述第二板上设置有第一滑槽，所述第一滑槽的槽壁朝向中心凸出设置有第一凸部，所述气缸本体上凸出设置有滑轨，所述滑轨位于两个所述第一凸部之间，所述滑轨朝向所述第一凸部的一侧面凹陷设置有限位槽，所述第一凸部插设在所述限位槽内，以使所述气缸本体能沿所述第一滑槽滑动。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述气缸本体设置有第二滑槽，所述推板包括板本体和连接杆，所述连接杆的一端与所述板本体连接，另一端滑动设置在所述第二滑槽内，所述气缸本体的侧壁设置有与所述第二滑槽连通的固定孔，紧固件能穿过所述固定孔并选择性锁紧所述连接杆，以调节所述板本体与所述气缸本体之间的间距。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述板本体的同一侧面上设置有两个连接杆，两个所述连接杆沿所述活塞杆的轴向中心对称设置。

6.根据权利要求4所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述固定孔设置有多个，多个固定孔沿所述第二滑槽的长度方向排布。

7.根据权利要求4所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述连接杆套设有弹性防护套，所述弹性防护套能沿所述连接杆的轴向折叠，所述弹性防护套位于所述推板和所述气缸本体之间。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述弹性防护套具有凹部与第二凸部，所述凹部与所述第二凸部交替设置，所述凸部上设置有呼吸孔。

9.根据权利要求1至8任一项所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述推板朝向所述辊轮组件的一侧面设置有缓冲层。

10.根据权利要求1所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述掩膜版上设置有第一对位标记，所述玻璃基板上设置有第二对位标记，所述视觉检测组件通过所述第一对位标记和所述第二对位标记是否对位判断所述玻璃基板是否位于所述装载位置。