[实用新型]一种用于传输腔的真空密封门板结构

说明书

本实用新型涉及一种用于传输腔的真空密封门板结构，包含真空箱体、设置在真空箱体端部的传输口、设置在传输口外圈的密封圈、设置在传输口的密封门板、用于驱动密封门板压紧密封圈的驱动压紧机构；所述驱动压紧机构包括分别设置在真空箱体两侧的平行四边形连杆组件和限位件、设置在真空箱体下方的动力组件；每组所述平行四边形连杆组件均包括竖直滑动设置的长条板、两个分别竖直间隔设置在密封门板侧面的连接块、两根两端分别与连接长条板端部和连接块铰接的连杆；所述动力组件驱动密封门板上升过程中，限位件可使密封门板水平运动压紧密封圈；本实用新型不仅结构简单紧凑，降低了生产成本，且驱动压紧机构与传输口错开设置，减少了工作空间。

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，特指一种用于传输腔的真空密封门板结构。

背景技术

真空密封门板结构是一种进行门板真空密封的支撑结构，现有密封功能都是通过移动带有密封槽的门板挤压密封圈实现的且密封圈受压面为平面，为了减小密封圈的磨损，门板位移主要可分为以下几种形式：通过翻转门板来实现此功能；先水平移动门板再竖直移动门板；先水平移动门板再倾斜移动门板，随着科技的不断发展，人们对于真空密封门板结构的制造工艺要求也越来越高。

如现有技术201822210676.X公开的一种真空腔体密封用门阀及应用该门阀的真空腔体，现有技术202021470168.6公开的一种基于连杆机构的真空箱密封装置，其中用于驱动门板进行密封的驱动组件均设置在真空箱密封口的端面，不仅结构复杂，增加了制造成本，且大大占用了工作空间，从而限制了其在半导体行业中的使用。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种用于传输腔的真空密封门板结构。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于传输腔的真空密封门板结构，包含真空箱体、设置在真空箱体内部的传输腔、设置在真空箱体端部且与传输腔连通的传输口、设置在真空箱体端部且位于传输口外圈的密封槽、设置在密封槽内的密封圈、设置在传输口的密封门板、用于驱动密封门板压紧密封圈对传输口进行密封的驱动压紧机构；

所述驱动压紧机构包括分别设置在真空箱体两侧的平行四边形连杆组件和限位件、设置在真空箱体下方的动力组件；

每组所述平行四边形连杆组件均包括竖直设置在真空箱体侧面的导轨、竖直滑动设置在导轨上的长条板、两个分别竖直间隔设置在密封门板侧面的连接块、两根两端分别与连接长条板端部和连接块铰接的连杆；

所述动力组件驱动平行四边形连杆组件带动密封门板上升过程中，限位件可使密封门板水平运动压紧密封圈；

所述动力组件包括两端分别与真空箱体两侧长条板底部连接的U形连接件、用于驱动U形连接件升降的驱动器。

优选的，每块所述长条板上均铰接设置有可伸缩的支撑杆；所述支撑杆的伸缩端与位于上方的连杆中部铰接。

优选的，所述限位件设置有卡槽，呈∩形结构；所述卡槽的宽度略大于连接块的宽度，当驱动压紧机构驱动密封门板压紧密封圈时，连接块会卡入卡槽内。

优选的，所述限位件的外侧底部设置有限位部；所述连杆与连接块通过转轴铰接；所述转轴上在限位部的正下方套设有滚轮。

优选的，所述真空箱体的两侧设置有竖直放置的定位凹槽；所述导轨的部分安装在定位凹槽内，且剩余部分延伸至真空箱体下方。

优选的，所述导轨的长度至少能让密封门板下降时，完全露出传输口。

优选的，所述导轨上设置有两个上下间隔放置的滑块；所述长条板的上下两端分别设置在两个滑块上。

优选的，所述密封门板与驱动器错开放置，且密封门板设置在驱动器的外侧。

优选的，所述驱动器为气缸、直线模组、伺服电缸中的一种。