[实用新型]一种用于传输腔的真空密封门板结构有效
申请号: | 202221583895.2 | 申请日: | 2022-06-23 |
公开(公告)号: | CN218324534U | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 李洋 | 申请(专利权)人: | 苏州子山半导体科技有限公司 |
主分类号: | E06B3/44 | 分类号: | E06B3/44;E05F15/00;E06B7/16;E05D15/16;E05C17/60 |
代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 夏祖祥 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 传输 真空 密封 门板 结构 | ||
1.一种用于传输腔的真空密封门板结构,其特征在于:包含真空箱体、设置在真空箱体内部的传输腔、设置在真空箱体端部且与传输腔连通的传输口、设置在真空箱体端部且位于传输口外圈的密封槽、设置在密封槽内的密封圈、设置在传输口的密封门板、用于驱动密封门板压紧密封圈对传输口进行密封的驱动压紧机构;
所述驱动压紧机构包括分别设置在真空箱体两侧的平行四边形连杆组件和限位件、设置在真空箱体下方的动力组件;
每组所述平行四边形连杆组件均包括竖直设置在真空箱体侧面的导轨、竖直滑动设置在导轨上的长条板、两个分别竖直间隔设置在密封门板侧面的连接块、两根两端分别与连接长条板端部和连接块铰接的连杆;
所述动力组件驱动平行四边形连杆组件带动密封门板上升过程中,限位件可使密封门板水平运动压紧密封圈;
所述动力组件包括两端分别与真空箱体两侧长条板底部连接的U形连接件、用于驱动U形连接件升降的驱动器。
2.根据权利要求1所述的用于传输腔的真空密封门板结构,其特征在于:每块所述长条板上均铰接设置有可伸缩的支撑杆;所述支撑杆的伸缩端与位于上方的连杆中部铰接。
3.根据权利要求2所述的用于传输腔的真空密封门板结构,其特征在于:所述限位件设置有卡槽,呈∩形结构;所述卡槽的宽度略大于连接块的宽度,当驱动压紧机构驱动密封门板压紧密封圈时,连接块会卡入卡槽内。
4.根据权利要求3所述的用于传输腔的真空密封门板结构,其特征在于:所述限位件的外侧底部设置有限位部;所述连杆与连接块通过转轴铰接;所述转轴上在限位部的正下方套设有滚轮。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的用于传输腔的真空密封门板结构,其特征在于:所述真空箱体的两侧设置有竖直放置的定位凹槽;所述导轨的部分安装在定位凹槽内,且剩余部分延伸至真空箱体下方。
6.根据权利要求5所述的用于传输腔的真空密封门板结构,其特征在于:所述导轨的长度至少能让密封门板下降时,完全露出传输口。
7.根据权利要求6所述的用于传输腔的真空密封门板结构,其特征在于:所述导轨上设置有两个上下间隔放置的滑块;所述长条板的上下两端分别设置在两个滑块上。
8.根据权利要求7所述的用于传输腔的真空密封门板结构,其特征在于:所述密封门板与驱动器错开放置,且密封门板设置在驱动器的外侧。
9.根据权利要求8所述的用于传输腔的真空密封门板结构,其特征在于:所述驱动器为气缸、直线模组、伺服电缸中的一种。
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