[实用新型]一种芯片脱膜装置有效

专利信息
申请号: 202221454358.8 申请日: 2022-06-13
公开(公告)号: CN217521958U 公开(公告)日: 2022-09-30
发明(设计)人: 王昕;徐震鸣;吴凯;韦青;李巍巍 申请(专利权)人: 无锡红光微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 代理人: 江霞
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片脱膜装置,其特征在于:包括底座(1)、螺杆(2)、锁紧座(3)和四个顶针(4),所述螺杆(2)竖向设置,所述底座(1)固定设置在螺杆(2)的底端,所述锁紧座(3)的形状为圆台,所述锁紧座(3)与螺杆(2)同轴设置,所述锁紧座(3)的最小直径的一端固定设置在螺杆(2)顶端,所述螺杆(2)上螺纹连接有锁紧环(5),所述锁紧环(5)与锁紧座(3)的侧面抵靠,所述锁紧座(3)的顶部设置有四个条形槽(6),四个条形槽(6)以螺杆(2)的轴线为中心周向均匀分布,四个条形槽(6)形成十字形,所述条形槽(6)向下延伸至螺杆(2)的底端,所述条形槽(6)的两端延伸至锁紧座(3)的侧面,所述顶针(4)与条形槽(6)一一对应,所述顶针(4)竖向插入条形槽(6),所述顶针(4)与条形槽(6)之间设置有间隙,所述锁紧座(3)的顶部设置有调节机构;

所述调节机构包括四个调节组件,所述调节组件与顶针(4)一一对应;

所述调节组件包括两个调节单元,两个调节单元关于条形槽(6)对称设置,所述调节单元包括水平设置的导杆(7),所述导杆(7)的两端均与锁紧座(3)的顶部固定连接,所述导杆(7)上滑动连接有滑块(8),所述滑块(8)的靠近条形槽(6)的一侧固定设置有夹块(9),所述滑块(8)上设置有锁紧部件,所述锁紧部件与锁紧座(3)连接。

2.根据权利要求1所述的一种芯片脱膜装置,其特征在于:所述调节组件还包括两个同步部件,两个同步部件中,其中一个同步部件设置在夹块(9)的靠近螺杆(2)轴线的一侧,另一个同步部件设置在夹块(9)的另一侧,所述同步部件包括连接杆(10)和两个固定块(11),所述固定块(11)与夹块(9)一一对应,所述固定块(11)固定设置在夹块(9)上,所述连接杆(10)水平设置,所述连接杆(10)与导杆(7)垂直,所述连接杆(10)活动穿过两个固定块(11)。

3.根据权利要求2所述的一种芯片脱膜装置,其特征在于:所述连接杆(10)的两端均固定设置有限位块(12),所述限位块(12)与固定块(11)之间设置有间隙。

4.根据权利要求1所述的一种芯片脱膜装置,其特征在于:所述夹块(9)的靠近条形槽(6)的一侧设置有弧形的凹槽(13),所述凹槽(13)的轴线竖向设置。

5.根据权利要求4所述的一种芯片脱膜装置,其特征在于:所述凹槽(13)的内壁上贴附有橡胶垫(14)。

6.根据权利要求5所述的一种芯片脱膜装置,其特征在于:所述橡胶垫(14)上设置有防滑纹。

7.根据权利要求1所述的一种芯片脱膜装置,其特征在于:所述锁紧部件包括竖向设置的螺丝(15),所述螺丝(15)与滑块(8)螺纹连接,所述螺丝(15)的底端与锁紧座(3)的顶部抵靠。

8.根据权利要求1所述的一种芯片脱膜装置,其特征在于:所述锁紧座(3)和螺杆(2)为一体成型结构。

9.根据权利要求1所述的一种芯片脱膜装置,其特征在于:所述锁紧座(3)的最小直径与螺杆(2)的直径相等。

10.根据权利要求1所述的一种芯片脱膜装置,其特征在于:所述夹块(9)与锁紧座(3)的顶部贴合。

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