[实用新型]一种全方位无死角式晶圆盒清洗机

权利要求书

1.一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，包括第一清洗箱(1)、活动设置于所述第一清洗箱(1)内部的承载板(6)和固定安装于所述第一清洗箱(1)外壁的第二清洗箱(7)，其特征在于：所述第一清洗箱(1)的底端四角边缘处固定安装有支撑腿(2)，所述支撑腿(2)的底端固定安装有底板(3)，所述底板(3)的顶端固定安装有水泵(4)和水箱(5)，所述第一清洗箱(1)的底端固定安装有电机(24)，所述电机(24)的输出轴贯穿第一清洗箱(1)的底端并与承载板(6)的底端相连接，所述承载板(6)的两侧内壁固定安装有均匀分布的弹簧(16)，所述弹簧(16)的一端固定安装有挤压块(17)，所述挤压块(17)呈“U”形结构，所述挤压块(17)的内壁固定安装有橡胶块(18)。

2.根据权利要求1所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述承载板(6)呈“U”形结构，所述承载板(6)的顶端固定安装有对称的固定块(19)，所述固定块(19)的两侧贯穿开设有第一螺槽(20)，所述第一螺槽(20)的内壁螺纹安装有螺纹柱(21)，所述螺纹柱(21)的一端固定安装有压盘(22)。

3.根据权利要求1所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述水泵(4)的抽水端口上固定安装有抽水管(12)，所述水箱(5)的一侧固定安装有第一固定管(11)，所述抽水管(12)的一端与第一固定管(11)相互贯通连接。

4.根据权利要求1所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述水泵(4)的出水端口上固定安装有出水管(13)，所述第一清洗箱(1)的一端内壁固定安装有对称的连接块(25)，所述连接块(25)的外壁固定安装有第二固定管(26)，所述第二固定管(26)上固定安装有喷头(27)，所述出水管(13)的一端贯穿第一清洗箱(1)的底端延伸至第二固定管(26)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述水箱(5)的顶端固定安装有注水管(14)，所述第一清洗箱(1)的底端固定安装有回流管(15)，所述回流管(15)上固定设置有电动阀(28)，所述回流管(15)的底端贯穿水箱(5)的顶端延伸至水箱(5)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述第一清洗箱(1)的内壁固定设置有水位线(10)，所述第一清洗箱(1)的顶部活动设置有盖体(8)，所述盖体(8)的底端固定安装有限位框(9)，所述限位框(9)的外壁与第一清洗箱(1)的顶端内壁相贴合。

7.根据权利要求1所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述第二清洗箱(7)的底端固定安装有电动缸(29)，所述电动缸(29)的伸缩杆顶端贯穿第二清洗箱(7)固定安装有升降板(30)，所述升降板(30)的顶端和底端贯穿开设有对称的第二通孔(31)，所述第二清洗箱(7)的底端贯穿开设有第二螺槽(32)，所述第二螺槽(32)的内壁螺纹安装有塞盖(33)。